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公开(公告)号：CN110057484A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201811533833.9
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L5/16 , G01L5/22 , G01P15/09 , G01P15/18 , H01L41/04 , H01L41/083 , H01L41/113
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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公开(公告)号：CN104596680B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201410594158.6
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：第1以及第2压电体层；第3以及第4压电体层，其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置；第5以及第6压电体层，其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在层叠体的侧面，并包括与各电极层连接的侧面端子，将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。
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公开(公告)号：CN108709670A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810521203.3
申请日：2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/009 , Y10S901/46 , Y10T74/20335
Abstract: 本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件，在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔，在上述第一基板设置有第一凸部，其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外，从相对于上述第一基板而垂直的方向观察，上述元件配置于上述第一凸部内。
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公开(公告)号：CN108106757A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711019828.1
申请日：2017-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 神谷俊幸
CPC classification number: B25J13/085 , G01G3/13 , G01G3/165 , G01L1/165 , G01L1/167 , G01L5/226 , H01L41/047 , G01L3/00 , G01L5/0061
Abstract: 提供一种具备高力学检测特性的力检测传感器、力传感器、扭矩传感器及机器人。力检测传感器具备：基体，具备从外部接受力的第一面、及法线方向与所述第一面的法线方向不同的第二面；以及电极指，配置在所述第二面上；在所述第二面的俯视图中，所述电极指的排列方向与所述第一面的法线方向不同。另外，所述第二面由压电体的表面构成。另外，所述压电体的构成材料是水晶。另外，所述第一面与所述水晶的电轴相交。
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公开(公告)号：CN103175638B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210558600.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件及其制造方法、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104596675A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410573529.2
申请日：2014-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J19/028
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件的特征在于，在将相互正交的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，分别至少具有：一张第一压电板，其由X截割水晶板构成并根据沿着A轴方向的外力而输出电荷；一张第二压电板，其由Y截割水晶板构成，沿A轴方向与第一压电板层叠，并根据B轴方向的外力而输出电荷；一张第三压电板，其由Y截割水晶板构成，以在其与第一压电板之间夹持第二压电板的方式，并且以绕A轴旋转的配置沿A轴方向层叠，并根据C轴方向的外力而输出电荷。
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公开(公告)号：CN104236757A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410090038.2
申请日：2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/009 , Y10S901/46 , Y10T74/20335
Abstract: 本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手和电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件，在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔，在上述第一基板设置有第一凸部，其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外，从相对于上述第一基板而垂直的方向观察，上述元件配置于上述第一凸部内。
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公开(公告)号：CN103175638A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210558600.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件及其制造方法、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面。
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公开(公告)号：CN103175637A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210558596.8
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J9/1633 , G01L1/16 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于上述封装；以及盖体，其对上述封装进行密封，在上述盖体具备可挠部，在深度方向上俯视观察上述封装时，该可挠部包围上述传感器元件的周围并且具有可挠性。
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公开(公告)号：CN1763957A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510112895.9
申请日：2005-10-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在制造工序以及制造之后，难以导致特性劣化，并且可靠性高的铁电体存储器及其制造方法。根据本发明的铁电体存储器(1000)的制造方法，包括以下工序：(a)通过在基板(10)的上方依次层积下部电极层(20)、铁电体层(30)、以及上部电极层(40)，形成铁电体层积体；(b)对铁电体层积体进行图案形成，形成铁电体电容器(100)；(c)通过物理气相沉积法，形成覆盖铁电体电容器(100)的第一屏障膜(50)；(d)通过化学气相沉积法，形成覆盖第一屏障膜(50)的第二屏障膜(60)。
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