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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112805402A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201980065599.8
申请日：2019-11-15
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 课题为提供能够减小槽的位置偏移的背板的制造方法。本发明为包括将盖构件与在单面具有槽的板状的主体接合的背板的制造方法，槽包含沿长度方向延伸的至少2个第1部分，主体与盖构件的被接合区域包含沿长度方向延伸且与至少2个第1部分中相对的各2个侧面对应的至少4个第1被接合区域，至少4个第1被接合区域中的主体与盖构件的通过下述工序实施：(a)在与1个第1部分中的1个侧面对应的1个第1被接合区域中，将主体与盖构件接合；(b)在其余被接合区域中的与其他第1部分中的1个侧面对应的1个被接合区域中，将主体与盖构件接合；及(c)重复进行工序(b)。
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公开(公告)号：CN112638791A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201980056277.7
申请日：2019-09-11
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，并且能够在保持使圆筒状溅射靶横卧的状态的情况下容易地打开包装。本发明涉及下述捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，其中，将圆筒状溅射靶的圆筒部用至少2层片状缓冲材料覆盖，在该圆筒状溅射靶的圆筒部的包含周向的截面中，使片状缓冲材料的两端部以该圆筒部的圆周的二分之一以下的长度叠合、或者使片状缓冲材料的两端部对接，由此进行捆包。
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公开(公告)号：CN111217024A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201911163827.3
申请日：2019-11-22
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明涉及溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。本发明的目的在于提供能够以充分的真空状态将一端设置有凸缘部且另一端被密封的筒型溅射靶的外侧及内侧捆包的、溅射靶的捆包结构体。本发明的解决手段为溅射靶的捆包结构体，其具备：溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和包装材料，所述包装材料由片材构成，且以密合状态覆盖所述溅射靶的内表面及外表面，所述包装材料在所述溅射靶的两端侧具备密封部。
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公开(公告)号：CN108603282B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201780009419.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序；和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。
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公开(公告)号：CN110268092A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201880010776.8
申请日：2018-02-09
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供溅射靶的加工方法，其是对包含溅射面、前述溅射面的相反侧的相对面、和前述溅射面与前述相对面之间的外周面的溅射靶进行加工的方法，所述溅射靶的加工方法具备：将前述溅射靶的前述溅射面或前述相对面设置于固定台，从而将前述溅射靶固定于前述固定台的工序；和，一边使切削工具沿前述溅射靶的前述外周面的周向旋转，一边利用前述切削工具切削前述溅射靶的前述外周面的工序。
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