刻蚀掩模膜的测评
    56.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103123441B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201210543905.4

    申请日:2012-11-16

    CPC classification number: G01N33/00 G03F1/80 G06F17/00

    Abstract: 本发明涉及刻蚀掩模膜的测评。具体地,连同光掩模坯料,其包括透明衬底、图案形成膜以及刻蚀掩模膜,通过如下方式测评所述刻蚀掩模膜:测量第一刻蚀完成时间(C1),其是在施加于图案形成膜的刻蚀条件下刻蚀该刻蚀掩模膜时所花费的时间,测量第二刻蚀完成时间(C2),其是在施加于刻蚀掩模膜的刻蚀条件下刻蚀该刻蚀掩模膜时所花费的时间,以及计算第一刻蚀完成时间与第二刻蚀完成时间的比值(C1/C2)。

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