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公开(公告)号:CN110146972A
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201910390024.5
申请日:2019-05-10
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司 , 江苏锐精光电有限公司
IPC: G02B19/00
Abstract: 本发明公开了一种集光器,包括:透镜阵列板、集光孔阵列板、导光槽和侧向集光系统;所述导光槽内设置有集光孔阵列板,所述集光孔阵列板的底部设有一级反射体,所述侧向集光系统设置于所述导光槽一侧,所述透镜阵列板安装于所述导光槽的上方,与所述导光槽形成一体式封闭结构。在本发明中,光线通过透镜阵列板照射入集光孔阵列板,通过所述集光孔阵列板上的反射体对光线逐一反射进行传递,并传递至侧向集光系统,最终本发明可以将所有从透镜阵列板射入的光集成一束,产生了极强的集光效果,且本发明结构简单,降低了制作成本,且减小了集光器的体积,安装也更加方便。
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公开(公告)号:CN109886882A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910044692.2
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于空间光调制器的彩色single-shot叠层相位恢复技术,属于相位恢复成像领域。本发明解决了传统叠层相位恢复技术需要扫描物体的问题及非荧光染色样品彩色成像的问题。本发明首先在样品之前放置一个空间光调制器;然后给空间光调制器一个针孔阵列并利用准直相干光照明,光透过空间光调制器上的针孔阵列照射在物体上,被探测器接收;再次,更换空间光调制器上的针孔阵列,且不同的针孔阵列间有重叠部分,照明样品不同的部位被探测器接收;最后通过相位恢复算法恢复样品的复振幅。本发明可以无需机械扫描实现叠层彩色相位恢复。
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公开(公告)号:CN109884053A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910045363.X
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于片光显微和共焦狭缝探测的谐波显微测量方法属于非线性光学测量领域;在谐波显微测量中,将谐波信号的探测方向垂直于样品照明方向,从而实现谐波显微中的片光测量。将sCMOS作为探测器并采用滚动快门工作模式实现共焦狭缝探测。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入转接光学系统进行球差补偿,接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号,被垂直于照明方向的探测物镜收集后经过窄带滤光片滤除杂散光,被工作在滚动快门模式的sCMOS接收探测。扫描过程与滚动快门对接同步,通过算法合成不同位置像素的谐波图像。该方法可有效提升谐波显微成像的对比度和信噪比,并且实现高帧率的谐波显微成像。
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公开(公告)号:CN109785266A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201910045365.9
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T5/00
Abstract: 一种基于空间光调制器的single-shot叠层相位恢复技术,属于相位恢复成像领域。本发明解决了传统叠层相位恢复技术需要扫描物体的问题。本发明首先在样品之前放置一个空间光调制器;然后给空间光调制器一个针孔阵列并利用准直相干光照明,光透过空间光调制器上的针孔阵列照射在物体上,被探测器接收;再次,更换空间光调制器上的针孔阵列,且不同的针孔阵列间有重叠部分,照明样品不同的部位被探测器接收;最后通过相位恢复算法恢复样品的复振幅。本发明可以无需机械扫描实现叠层相位恢复。
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公开(公告)号:CN109470147A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201811497944.9
申请日:2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 自适应高分辨力立体视觉测量装置与方法光学非接触三维测量领域,具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量模块联用测量大尺度三维被测样品形貌、形变、位移等的装置和方法;该装置两个及以上自适应高分辨力立体视觉单目测量装置组成,每一个高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块、扫描放大测量模块、像差矫正模块;该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内;其次,利用扫描放大测量模块通过摄像模块逐点扫描整个物体并进行像差矫正;利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌;本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号:CN109470146A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201811496736.7
申请日:2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 高分辨力立体视觉系统与测量方法属于光学非接触三维测量领域,具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量模块联用测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的装置和方法;该系统两个及以上高分辨力立体视觉单目测量装置组成,每一个高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块、扫描放大测量模块;该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内;其次,利用扫描放大测量模块通过摄像模块逐点扫描整个物体;利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌;本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号:CN108956479A
公开(公告)日:2018-12-07
申请号:CN201810526930.9
申请日:2018-05-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/21
CPC classification number: G01N21/211 , G01N21/21 , G01N2201/0637 , G01N2201/0697
Abstract: 径向偏振光照明椭球反射镜聚焦光学谐波生成激发方法属于非线性光学测量领域;飞秒激光器发出的脉冲激光经过准直扩束,通过偏振态转换器变为径向偏振光后由椭球面反射镜聚焦系统聚焦于样品处,从而进行样品内部光学谐波信号的激发。所述的椭球面反射镜聚焦系统包括大数值孔径物镜和椭球面反射镜;所述大数值孔径物镜的焦点和椭球反射镜的远焦点F1重合,椭球面反射镜的近焦点F2位于样品的表面上;使用本发明,可以提高近焦点F2处电场轴向偏振分量强度最大值与横向偏振分量强度最大值之比,从而提高所激发出的光学谐波的强度。此外,本发明还能使得与横向电场分量相关的非线性系数相对较大的样品所激发出的谐波极化强度分布保持单峰模式。
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公开(公告)号:CN103115585B
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201310033302.4
申请日:2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 基于受激辐射的荧光干涉显微测量方法与装置属于表面形貌测量技术领域;该方法首先在被测件和参考镜表面镀膜,再经单色探测激光激发,最后解算探测面上的干涉条纹;该装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜、分光棱镜、参考聚焦物镜、参考镜和位移驱动器;配置在分光棱镜反射光路上的探测聚焦物镜和被测件;配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器;被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜;这种设计,保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统,解决了高NA和高斜率表面检测的难题,适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号:CN103115583A
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN201310033336.3
申请日:2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置属于表面形貌测量技术领域;该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜和分光镜;配置在分光镜反射光路上的聚焦物镜、位移驱动器、参考镜、分光棱镜和被测件;配置在分光镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔和探测器;所述的被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜;这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计,保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统,解决了高NA和高斜率表面检测的难题,适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号:CN101413784B
公开(公告)日:2011-02-02
申请号:CN200810209586.7
申请日:2008-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 复色超分辨差动共焦测量大线性量程数据融合方法属于超精密三维微结构表面测量领域;该方法首先利用和分别计算得到第一和第二超分辨差动共焦测量支路的输出信息,其中和分别是采用复色超分辨差动共焦测量装置获取的第一和第二测量支路的实际输出光强信息,然后截取Γ1和Γ2得到有效输出和,最后构造系统线性输出融合函数:作为系统最终位移响应输出,其中ΓB′为平移因子,λ1和λ2是第一和第二测量支路波长;该方法保留了复色超分辨差动共焦测量高空间分辨力、抑制共模加性噪声和线性量程扩展的优点,同时可以抑制乘性噪声干扰,获得线性程度更好、线性测量范围更大的输出特性曲线。
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