-
公开(公告)号：CN110207405B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201910390715.5
申请日：2019-05-10
Applicant: 江苏锐精光电研究院有限公司 , 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种集光器用集光孔阵列板，包括：集光器；集光器上具有透镜阵列板、导光槽和侧向集光器，自然光照射面为平面，平面的相对面均匀排布透镜；在透镜阵列板和导光槽之间设置有集光孔阵列板，集光孔阵列板包括：主体板、集光孔、多面反射体和反射膜；集光孔开设在主体板上，且集光孔与透镜相匹配；多面反射体固定于主体板远离透镜的一侧，且多面反射体设置有主反射面，集光孔内的自然光通过主反射面进行反射，通过主反射面的自然光照射到侧向集光器；主体板远离透镜的一侧镀有反射膜；多面反射体除与主体板接触面均镀有反射膜。本发明提供了一种集光器用集光孔阵列板，不仅具有薄型化的优点，而且能够大大增加太阳光的收集效能。
-
公开(公告)号：CN111288900A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010238600.7
申请日：2020-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法，包括：建立遮挡孔径点扩散函数及边缘遮挡共焦成像模型；利用边缘遮挡共焦成像模型计算理想沟槽强度像，并进行归一化处理，获得理想沟槽归一化强度像；提取理想沟槽归一化强度像复振幅的轮廓线，找到沟槽边缘与归一化强度像交点的强度值INor；从实际测量三维数据中提取沟槽下表面轴向包络曲线，通过质心法确定沟槽下表面准焦位置及沟槽下表面准焦图像并归一化，得到实际测量的沟槽归一化强度像；寻找实际测量获得的沟槽归一化强度像中强度值为INor的坐标点，该点对应的横向位置即为实际测量中沟槽边缘位置，进而可以确定沟槽宽度，为反射式共焦显微镜提供一种更加准确且合理的沟槽宽度定值方法。
-
公开(公告)号：CN109445081A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811494437.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高速追踪扫描共焦显微测量装置和数据处理方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出平行光经过偏振分光棱镜(PBS)和四分之一波片后，经高速谐振镜反射，依次通过扫描透镜、管镜和物镜后汇聚至待测样品表面，载有待测样品信息的反射光依次经过物镜、管镜、扫描透镜、高速谐振镜、四分之一波片、偏振分光棱镜、收集透镜汇聚至针孔，最终入射至光电探测器。位移执行器带动物镜做轴向扫描，同时运动平台带动样品做横向运动，高速谐振镜使光束横向偏转追踪被测点，然后利用测量得到的数组数据解算轴向包络，同时得到多个测量点位置信息。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
-
公开(公告)号：CN109443711A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811494413.4
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于针孔随动高速扫描共焦显微技术的大口径光学元件测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的p光(s光)通过耦合光纤输出，依次经过物镜、四分之一波片和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光依次经过物镜、四分之一波片变为s光(p光)、物镜，回到耦合光纤，最终入射至光电探测器，高速微位移执行器带动耦合光纤扫描，从而完成对被测点的测量。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
-
公开(公告)号：CN109443241A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811500278.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于音叉驱动的高速轴向扫描共焦显微测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的激光通过固定在音叉上的耦合光纤输出，依次经过高倍物镜和低倍物镜，低倍物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光依次经过低倍物镜和高倍物镜，回到耦合光纤，最终入射至光电探测器，音叉带动耦合光纤扫描，从而完成对被测点的测量。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108592790A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810332847.8
申请日：2018-04-13
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京谱锐西玛仪器有限公司 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法，其步骤包括：使用α-β扫描方法完成对正交网格光栅样品扫描成像，即使用频率为f，初始相位分别为0和π/2正弦信号控制检流式振镜系统，偏转激光光束扫描；然后根据使用目标轨迹重构的扫描图像与目标图像相对位置关系确认扫描图像旋转角度θ，角度值θ转换弧度值φ，φ即为在频率为f时延迟相位大小；重复步骤上述测量过程获得不同频率fk下延迟相位大小φk；最后根据多组测量结果，拟合f-φ函数关系，即为扫描频率与相位延迟函数关系，完成用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定。本发明提供的延迟相位标定方法，精准确定相位延迟大小，提前校正由于振镜系统惯性导致的相位延迟。
-
公开(公告)号：CN103630087B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201310703089.3
申请日：2013-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于空间平移变换的数字差动共焦测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；该装置与方法利用单共焦探测器的输出结果，通过空间平移变换的数字处理方法，重构出两个虚拟的数字差分信号，完成整个差动共焦测量；本发明具有下述优点：两虚拟差动信号光电转换特性曲线一致，两个虚拟针孔的空间位置完全对称；原始数据获取于准焦平面位置；可以更改虚拟针孔离焦量。有效避免了现有技术方法中由于使用两路差分光路所引入的各类非线性和非共模噪声，以及离焦量无法匹配不同物镜切换的限制。
-
公开(公告)号：CN103411560B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201310355084.6
申请日：2013-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 角谱扫描照明荧光随动针孔探测微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域，主要涉及一种基于角谱扫描照明荧光随动针孔探测的微结构测量装置与方法；本发明设置有角谱扫描照明光路和荧光随动针孔探测光路，并提出一种三维微结构样品测量方法；本发明不仅可以避免现有会聚光束照明技术导致的某些区域无法照明或复杂反射的问题，有效解决探测信号强度衰减和背景噪声增强，造成的测量精度降低，甚至无法测量的问题。而且可以实现每个CCD相机像素前均有对应的荧光针孔存在，从而使得荧光随动针孔与CCD相机像素之间无需进行精密装调。
-
公开(公告)号：CN103438825B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201310354895.4
申请日：2013-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种角谱扫描照明阵列式共焦环形微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；该装置包括角谱扫描照明光路，从同心圆环光源发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后，平行照射到被测微结构样品表面；包括准共焦测量光路，成像部分采用针孔阵列配合图像传感器的结构；该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像，然后利用共焦三维测量原理，判断每个像素的轴向坐标，最后拟合出被测微结构样品的三维形貌；这种设计使被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度，提高探测信号强度，降低背景噪声，进而提高测量精度；同时实现高速测量。
-
公开(公告)号：CN102768015B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210244891.6
申请日：2012-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 荧光响应随动针孔显微共焦测量装置属于光学显微测量技术；在脉冲激光器直射光路配置准直扩束器和第一、第二分光镜，光功率计配置在第一分光镜反射光路上，在第二分光镜反射光路上配置聚焦物镜和三维微位移载物台，长焦双胶合透镜和二向色镜配置在第二分光镜透射光路上，在二向色镜透射光路上配置双光子荧光激发反射镜，在二向色镜反射光路上配置窄带滤波片、收集物镜和高增益光电探测器；本装置具有针孔自适应调节自由度，克服了测量过程中针孔漂移、扫描光斑漂移问题，兼具杂散光抑制能力强、响应灵敏准确度高的特点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
83
records
(took 0.038 seconds)
