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公开(公告)号：CN216891320U
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202220525283.1
申请日：2022-03-11
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，包括箱体，所述箱体的顶端铰接有盖体，且箱体的一侧外壁设置有散热窗口，并且箱体的另一侧外壁安装有风扇，所述箱体的内壁固定设置有六组固定板，两个所述固定板的内侧设置有用以夹持的夹持组件，且两个所述固定板的内侧设置有限位组件，所述限位组件用以对所述夹持组件定位，所述箱体的内部设置有与其滑动配合的支撑板，该一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，通过多组第一夹板与第二夹板在固定架内活动，方便对不同直径的坩埚进行夹持隔开，且通过双向丝杆带动压板压紧进行第一夹板和第二夹板的挤压，从而将多个坩埚竖直隔开放置，提高散热效果。
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公开(公告)号：CN216501040U
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202122967540.5
申请日：2021-11-30
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型公开了清洗装置技术领域的一种高效节能的碳化硅晶片清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内部设置有清洗机构，清洗机构由圆盘、支架、网盒和固定架构成，圆盘有两个，两个圆盘之间通过连接轴固定连接；支架有若干个，分别等距离安装于两个圆盘侧边处、且两个圆盘上的支架呈一一对应设置，相对应的两个支架之间固定连接有连杆，连杆上活动套设有套筒，网盒固定连接于套筒下侧；在清洗过程中，当网盒运动至脱离水面时，喷头中喷射而出的水会对网盒内部的晶片进行冲刷，从而使得杂质与污垢在晶片上的粘附力减小，当网盒运动至水中进行漂洗时，杂志与污垢即可被水流携带走，从而实现晶片的清洗，清洗力度很强，效果极佳，且清洗效率高。
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公开(公告)号：CN217442184U
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202221294936.6
申请日：2022-05-27
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型涉及碳化硅晶片烘干技术领域，一种用于碳化硅晶片清洗后快速烘干装置，包括烘箱、第一输送机、第二输送机、烘干机构和翻转装置，烘箱顶端固定安装有若干个沿水平方向等间距设置的加热管，第一输送机与第二输送机均安装在烘箱内，烘箱顶端垂直固定连接烘干机构，第一输送机的输送末端与第二输送机的输送端固定安装翻转装置。本实用型有益效果是，根据烘箱的特性使整个空间处于一个高温环境，烘干机构快速清理表面的水分，翻转结构将碳化硅晶片翻转清理另外一面，无需人工翻面，有利于提高工作效率。
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公开(公告)号：CN217158132U
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202220995964.4
申请日：2022-04-24
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/673
Abstract: 本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体是一种用于碳化硅晶片腐蚀装置。本实用新型包括包括主体框架，所述主体框架上端固定连接有上支架，所述上支架下表面设置有气缸，且气缸的伸缩端固定连接有第一支架。该一种用于碳化硅晶片腐蚀装置晶片框架里可一次放置多个晶片，提高工作效率，夹头通过双向丝杆滑台的两个移动端，对晶片框架进行夹持，四个夹头共同配合，使夹持更加稳固，夹头通过液压杆的伸缩端，可对不同长度的晶片框架进行夹持，晶片框架通过气缸的伸缩端延伸，可将晶片框架放入腐蚀桶内，对晶片进行腐蚀作业，晶片框架通过气缸的伸缩端收缩，使腐蚀完成的晶片脱离腐蚀桶，无需人工操作，方便快捷，减少危险。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN216514107U
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202122967528.4
申请日：2021-11-30
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型涉及碳化硅单晶片技术领域，具体为一种碳化硅单晶片的镀膜装置，包括机箱、固定安装在机箱顶部一侧的高压舱、两个分别固定安装在高压舱一侧的合页和固定安装在两个合页一侧的舱门，还包括移动固定机构、观测机构、夹持翻转机构和调节机构，本实用新型通过设置有夹持翻转机构，将单晶片放置在两个弧形板之间，打开电动推杆使电动推杆带动两个弧形板分别向内移动，直至防护垫与单晶片两侧贴紧固定，当防护垫贴紧固定时会受到一定的压力，从而带动伸缩弹簧向内收缩，从而对单晶片的两侧进行缓冲，防止电动推杆在夹持固定过程中压力过大导致单晶片的损坏，影响后续的使用，伸缩弹簧和防护垫可以更加便捷的对单晶片两侧进行防护。
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公开(公告)号：CN216480838U
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202123032923.X
申请日：2021-12-06
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，包括底座，还包括底部照明机构、夹持机构和遮光观察机构，所述底部照明机构固定安装在底座顶部，所述底部照明机构两侧固定安装有侧板调节机构，本实用新型通过设置有侧板调节机构和侧光机构，当侧面的灯光需要根据使用的需求进行调节时，打开液压杆使液压杆的伸缩端分别带动两个侧板的上部向两侧移动，两个侧板通过合页与检测台铰接，侧板上方移动的同时带动合页进行旋转打开，使两个侧板与检测台之间形成所需的角度，可以更加便捷的对侧面灯光的远近进行调节，根据不同尺寸的晶片和不同的检测需求对侧面灯光的距离进行调节，已达到更好的检测效果。
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公开(公告)号：CN216460427U
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202122845589.3
申请日：2021-11-19
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型涉及晶片清洗技术领域，具体是一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置，包括有工作台，所述工作台的顶部连接有清洗箱，所述清洗箱的内部设有内箱体，所述内箱体的内底板上连接有圆环柱，所述圆环柱的侧壁开设有多个安装通槽，所述内箱体内设有清洗机构，所述清洗机构包括有连接板，所述连接板的底部两端连接有侧面板，所述连接板的底端连接有中心板，所述中心板的两侧和两个侧面板的内侧连接有多个连杆，每个所述连杆的一端均固定连接有清洁毛刷，本实用新型通过清洗箱、内箱体、圆环柱、安装通槽、连接板、侧面板、中心板、连杆和清洁毛刷之间相互配合的作用，从而可以有效的对碳化硅晶片的两面进行清洗，提高了清洗效率。
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公开(公告)号：CN217165580U
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202220988462.9
申请日：2022-04-24
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体是一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。本实用新型包括壳体，所述壳体内壁设置有两个超声波发生器。该一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，储物框架可通过内部开设有多个储物槽，可用来放置多个晶片，且能够将每个晶片隔开进行后续清理，壳体内壁的两个超声波发生器可对放置在壳体内部的储物框架进行超声波震动清洗，由于储物框架外表面开设有网口，便于清洗液接触每个储物槽内的晶片进行超声波清洗，设置的两个电机可带动两根传动辊进行旋转，从而使传动辊带动与之接触的晶片进行滚动，使得晶片边滚动边进行清洗，其过程可同时对多个晶片进行高效全面清洗，在保证清洗效果的同时也提高了晶片的加工效率。
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公开(公告)号：CN216528768U
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202122970225.8
申请日：2021-11-30
Applicant: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型公开了硅片生产装置技术领域的一种碳化硅片生产用加热退火装置，包括L型箱体，所述L型箱体内部通过若干组隔墙分隔为预热室、加热室、冷却室和出料室四个空间；所述加热室位于预热室下侧，所述冷却室位于加热室下侧，所述出料室位于冷却室右侧；所述预热室和加热室中均设置有接料机构，所述冷却室和出料室中设置有同一组出料室；所述L型箱体拐角内侧的外部设置有圆形架，所述圆形架后侧连接有驱动机构；所述圆形架侧边等距间隔安装有四组机械手；每当其中一个机械手完成一个步骤时，下一个机械手会重复之前的操作，从而循环往复，以实现加工过程的自动化进行，省时省力，方便快捷，大大提高了加工效率，实用性强。
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