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公开(公告)号：CN114755817A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210538583.8
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。多个弹性支承部中的各个具有：杠杆；连接于杠杆与基体之间的第1扭转支承部；和连接于杠杆与可动之间的第2扭转支承部。
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公开(公告)号：CN110799889B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201880043756.0
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其以可动部能够沿着与主面垂直的规定方向移动的方式支撑可动部；固定梳齿电极，其具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其具有与多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿。可动部及弹性支撑部的至少一者具有支撑可动梳齿电极的电极支撑部。电极支撑部具有以规定方向上的电极支撑部的厚度厚于规定方向上的可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。
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公开(公告)号：CN114509856A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210118147.5
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学组件包括反射镜单元和分束器单元。反射镜单元包括具有主面的基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部。分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第1固定反射镜的反射镜面沿着与主面平行的平面，且朝向与主面垂直的第1方向上的一侧。可动反射镜和驱动部、以及分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。
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公开(公告)号：CN110799817B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880043079.2
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/14 , G01J3/45 , G01J3/453 , G01B9/02015 , G02B27/14 , G02B7/198 , G02B26/08 , B81B3/00
Abstract: 本发明的光学组件(1)包括：包括基体(21)、可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)；配置在Z轴方向上的反射镜单元(2)的一侧的分束器单元(3)；使检测光(L0)入射至分束器单元(3)的光入射部(4)；配置在Z轴方向上的分束器单元(3)的一侧，检测从分束器单元(3)出射的检测光的干涉光(L1)的第1光检测器(6)；用于安装反射镜单元(2)的支承体(9)；用于支承分束器单元(3)的第1支承结构(11)；和安装于支承体(9)的、支承第1光检测器(6)的第2支承结构(12)。
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公开(公告)号：CN113424028A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202080011471.6
申请日：2020-01-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光模块的信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于反射镜器件；强度获取部，其实施强度获取处理。强度获取处理是如下处理，即：在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110392858B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201880017324.2
申请日：2018-03-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光模块包括光学元件与安装有上述光学元件的基部。上述光学元件具有：具有光学面的光学部；以形成环状区域的方式设于上述光学部的周围的弹性部；以在沿上述光学面的第1方向上夹着上述光学部的方式设置且响应于上述弹性部的弹性变形而被赋予弹性力并且彼此的距离可变的一对支承部。上述基部具有：主面、设有与上述主面连通的开口的安装区域。上述支承部在被赋予上述弹性部的弹性力的状态下插入上述开口。上述光学元件在上述光学面与上述主面交叉的状态下，由从上述开口的内面赋予上述支承部的上述弹性力的反力而支承于上述安装区域。
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公开(公告)号：CN111344623A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201880073424.7
申请日：2018-09-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在光学器件中，第1、第2、第3和第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下分别配置于第1支承部与第2方向上的可动部的一侧的第1端部之间、第2支承部与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部之间、第3支承部与可动部的第1端部之间和第4支承部与可动部的第2端部之间。第1和第2支承部分别具有以其厚度大于第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部和第2梁部。第3和第4支承部分别具有以其厚度大于第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部和第4梁部。
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公开(公告)号：CN111344622A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201880073320.6
申请日：2018-08-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够高精度地形成梁部的光学器件的制造方法。本发明的光学器件的制造方法包括：第1步骤，准备具有与基底、可动部和弹性支承部对应的部分的半导体基板(100)；第2步骤，在第1半导体层(101)的与绝缘层(103)相反侧的表面中与基底对应的区域形成第1抗蚀层(104)；第3步骤，通过将第1抗蚀层(104)用作掩模对第1半导体层进行蚀刻直至厚度方向上的中间部，而在第1半导体层形成凹部(105)；第4步骤，在凹部(105)的底面(105a)中与梁部对应的区域、凹部的侧面(105b)和第1半导体层的与绝缘层(103)相反侧的表面(101a)形成第2抗蚀层(106)；第5步骤，通过将第2抗蚀层(106)用作掩模对第1半导体层(101)进行蚀刻直至绝缘层(103)，而形成梁部(224)。
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公开(公告)号：CN110799889A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880043756.0
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其以可动部能够沿着与主面垂直的规定方向移动的方式支撑可动部；固定梳齿电极，其具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其具有与多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿。可动部及弹性支撑部的至少一者具有支撑可动梳齿电极的电极支撑部。电极支撑部具有以规定方向上的电极支撑部的厚度厚于规定方向上的可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。
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公开(公告)号：CN110418994A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201880017386.3
申请日：2018-03-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块包括：支承层(2A)、设在支承层(2A)上的器件层(3A)、安装在器件层(3A)的可动镜(5A)。器件层(3A)具有：可动镜(5A)贯通的安装区域(31A)、与安装区域(31A)连接的驱动区域(32A)。在支承层(2A)与器件层(3A)之间，形成有至少与安装区域(31A)以及驱动区域(32A)对应的空间(S1A)，可动镜(5A)的一部分位于空间(S1A)。
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