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公开(公告)号：CN221764498U
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202322957019.2
申请日：2023-11-02
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C21/16 , B81B7/00 , B81B7/02 , G01C19/5656
Abstract: 本公开涉及MEMS设备和电子设备。MEMS设备由衬底和被悬挂在该衬底上的可移动结构形成。可移动结构具有第一质量块、第二质量块以及机械地耦合在它们之间的第一弹性组。第一弹性组沿第一方向是柔顺的。第一质量块被配置为沿第一方向相对于衬底移动。MEMS设备还具有：第二弹性组，机械地耦合在衬底与可移动结构之间并沿第一方向是柔顺的；以及锚定控制结构，被固定到衬底，电容性地耦合到第二质量块，并且被配置为沿第一方向在第二质量块上施加静电力。锚定控制结构控制MEMS设备处于第一操作状态，其中第二质量块沿第一方向相对于衬底自由移动，并且控制MEMS设备处于第二操作状态，其中锚定控制结构在第二质量块上施加将第二质量块锚定到锚定结构的拉入力。
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公开(公告)号：CN220819017U
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202321699428.0
申请日：2023-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统陀螺仪。MEMS陀螺仪，具有：第一可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至第一可移动质量块，并且被配置为生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至第一可移动质量块，并且被耦合至第一驱动组件，在第一驱动方向上是刚性的，并且在第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至第二可移动质量块，并且被配置为在第二驱动方向上生成第二交替驱动移动；第二驱动弹性结构，被耦合至第二可移动质量块，并且被耦合至第二驱动组件，在第二驱动方向上是刚性的，并且在第二感测方向上是顺应性的。
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公开(公告)号：CN215953660U
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202120533057.3
申请日：2021-03-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 公开了一种MEMS惯性传感器及电子设备。MEMS惯性传感器包括支撑结构和惯性结构。惯性结构包括至少一个惯性质量块、弹性结构和止动结构。弹性结构机械地耦合到惯性质量块和支撑结构以使得当支撑结构受到平行于第一方向的加速度时，惯性质量块能够在平行于第一方向的方向上运动。止动结构相对于支撑结构固定，并且至少包括一个主止动元件和一个次止动元件。如果加速度超过第一阈值，则惯性质量块紧靠主止动元件，并且随后围绕由主止动元件限定的旋转轴旋转。如果加速度超过第二阈值，则当惯性质量块紧靠次止动元件时，惯性质量块的旋转终止。该MEMS惯性传感器能够降低发生静摩擦现象的可能性，而不导致设备的总体尺寸的增加或减小设备的全量程。
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公开(公告)号：CN211378010U
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201922051853.9
申请日：2019-11-25
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H03L7/181
Abstract: 本公开涉及时钟发生器。在一个实施例中，时钟发生器具有可变模量分频器，该可变模量分频器接收高频时钟信号，并且输出分频时钟信号，该分频时钟信号具有由温度补偿电路所生成的模量控制信号控制的频率。抖动滤波器耦合到可变模量分频器的输出并且耦合到温度补偿电路，并且生成补偿时钟信号，该补偿时钟信号具有相对于分频时钟信号被延迟与量化误差信号相关的时间的切换沿。根据本公开的时钟发生器具有小的占用面积和低的功耗水平。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206594197U
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201621102333.6
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , B81B3/0021 , B81B2201/0235 , B81B2203/0181 , B81B2203/04 , G01P2015/0814 , G01P2015/0831
Abstract: 本公开涉及一种加速度度量传感器和便携式电子装置。加速度度量传感器包括：承载结构；半导体材料的悬置区域，相对于所述承载结构可移动；至少一个第一调制电极，固定至所述承载结构并且被配置用于在使用中采用包括具有第一频率的至少一个周期性分量的电调制信号来偏置；至少一个第一可变电容器，由所述悬置区域以及由所述第一调制电极形成为使得所述悬置区域经受取决于所述电调制信号的第一静电力；以及感测组件，被配置用于当所述加速度度量传感器经受加速度时产生电感测信号，所述电感测信号指示所述悬置区域相对于所述承载结构的位置并且包括频率调制分量，所述频率调制分量取决于所述加速度和所述第一频率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206440281U
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201621103727.3
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 提供了一种微机械检测结构(20)和MEMS传感器设备(40)。微机械检测结构(20)包括：半导体材料的衬底(2)；驱动质量体布置(4a‑4c)，耦合至驱动电极集合(7a‑7c)并且在驱动电极集合的电偏置之后在驱动移动中被驱动；第一锚固单元(5a‑5c,6a‑6c)，耦合至驱动质量体布置以用于在第一锚固部(5a‑5c)处将驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)；被驱动质量体布置(10,30)，通过耦合单元(22a‑22b)弹性地耦合至驱动质量体布置并且被设计为由驱动移动所驱动；以及第二锚固单元(14,34)，耦合至被驱动质量体布置以用于在第二锚固部(17,37)处将被驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)。在驱动移动之后，在第一和第二锚固部处施加于衬底(2)上的力和扭矩的合量基本上为零。
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公开(公告)号：CN220856393U
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202322141970.0
申请日：2023-08-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： F·韦尔切西 , G·加特瑞 , G·阿勒加托 , M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 , A·达内伊
Abstract: 本实用新型涉及一种微机电按钮器件、用户接口元件及其电子装置，包括：半导体材料的衬底、掩埋电极、结构层和帽。半导体材料的衬底具有前表面和后表面，前表面和后表面在水平面中具有延伸部，并且沿垂直于水平面的竖直轴线彼此相对；掩埋电极，在衬底上；结构层，包括移动电极，移动电极覆盖衬底，并且以分离距离弹性地悬置在掩埋电极上方以形成检测电容器；以及帽，耦合到结构层，并且具有面对结构层的第一主表面以及沿竖直轴线与第一主表面相对的第二主表面，帽被设计为机械耦合到电子装置的外壳的可变形部分，其中帽在第一主表面上具有致动部分。
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公开(公告)号：CN219799494U
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202223132130.X
申请日：2022-11-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及电子设备。一种微机电传感器设备具有检测结构，该检测结构包括：具有顶面的基底；悬置在基底的顶面上方并且弹性耦合到转子锚以便根据待检测量相对于基底执行惯性运动的惯性质量体；以及在相应定子锚处整体耦合到基底并且电容耦合到惯性质量体，以便响应于待检测量而生成指示待检测量的差分电容变化的定子电极。特别地，作为惯性运动，惯性质量体执行沿着正交于基底的顶面的竖直轴线的平移运动；并且定子电极以悬置方式布置在基底的顶面上方。本公开的微机电传感器设备具有改进的稳定性并且减少了其电特性相对于外部刺激(诸如热变化、机械或环境应力、或各种性质的其他外部刺激)的漂移。
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公开(公告)号：CN217404317U
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202121746092.X
申请日：2021-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统加速度计和设备，包括：支撑结构、至少一个可变形组和至少一个第二可变形组，至少一个可变形组和至少一个第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，它们各具有相应第一端部和相应第二端部。第一可变形组和第二可变形组还分别包括第一压电检测结构和第二压电检测结构。微机电加速度计还包括：第一移动质量块和第二移动质量块，分别被固定到第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件的第二端部并且分别相对于第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件垂直交错；以及第一弹性结构。本加速度计能够以高灵敏度来检测具有相对较高频率的振动，同时可以受益于对由杂散电压引起的杂散静态效果的高度免疫。
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公开(公告)号：CN212568844U
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202021159685.1
申请日：2020-06-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS惯性传感器和电子设备。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦检测量终止，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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