公开(公告)号：CN102171745A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201080002805.X

申请日：2010-01-29

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 江畑研一 ,  近藤聪 ,  伊藤泰则

IPC: G09F9/00 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/30

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B65H2301/51122 ,  G02F1/1303 ,  H01L51/003 ,  H01L51/56 ,  H05K3/007

Abstract: 本发明提供电子器件的制造方法及该方法中使用的剥离装置，可以不损伤密接的基板和树脂层而容易且在短时间内进行剥离并分离。从在具有电子器件用部件(14)的基板(12b)上密接有固定于支承基板(19b)的树脂层(18b)的带支承体的电子器件(10)剥离由支承基板(19b)及树脂层(18b)构成的支承体(17b)时，使未附有之后剥离的支承体(17b)的主面与工作台(20)的固定面(20a)密接，将带支承体的电子器件(10)固定，向固定于工作台(20)的带支承体的电子器件(10)的端面中被剥离的支承体(17b)的树脂层(18b)和基板(12b)之间的界面插入刀片(30)，将支承体(17b)和电子器件(16)剥离，由此解决上述课题。

公开(公告)号：CN102112410A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200980130644.X

申请日：2009-08-07

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 伊藤泰则

IPC: C03C27/12 ,  B65G49/06 ,  C03B35/20 ,  H01L21/683

CPC classification number: B65G49/061 ,  B32B17/10706 ,  B32B17/10908 ,  B32B17/10954 ,  B32B2310/025 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6838 ,  Y10T29/49998 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明提供一种利用简单的结构，可高精度确定所保持的基板的位置，充分确保基板的吸附力，能够防止基板脱落的基板的保持装置、基板的保持方法及夹层玻璃的制造方法。将基板近似水平保持，并使其上下移动的基板的保持装置(10)具有：支承体(2)；由支承体(2)支承并吸附基板的至少1个基板吸附体(1)；和在多个部位将基板吸附体(1)的外周部和支承体(2)的从基板吸附体(1)外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件(4)；带状弹性部件(4)在与基板吸附体(1)连接的一端部和与支承体(2)连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照基板吸附体(1)相对支承体(2)在上下方向相对接近分离的方式变位且在水平方向变位。