基板检查装置及其参数设定方法和参数设定装置

    公开(公告)号:CN1885014B

    公开(公告)日:2010-04-14

    申请号:CN200610093124.4

    申请日:2006-06-22

    Abstract: 本发明提供可自动生成为在图像中确定相邻的2个部分之间的边界而使用的参数的技术。分别针对训练图像、对颜色采集区域设定多个图案,该颜色采集区域由用于采集第一部分的颜色的第一区域和用于采集第二部分的颜色的第二区域构成,关于颜色采集区域各自的图案,将第一区域内的各像素的颜色作为对象点、将第二区域内的各像素的颜色作为排除点,分别映射到色彩空间中,关于颜色采集区域各自的图案,计算色彩空间中的对象点分布和排除点分布的分离度,选择分离度为最大的颜色采集区域的图案,求出分割色彩空间的颜色范围,使得所选择出的图案中的对象点的数量和排除点的数量之差最大,将所求出的颜色范围设定为在基板检查处理中使用的颜色条件。

    基板检查方法和装置、及其检查逻辑设定方法和装置

    公开(公告)号:CN100472205C

    公开(公告)日:2009-03-25

    申请号:CN200610008388.5

    申请日:2006-02-21

    Abstract: 基板检查方法和装置、及其检查逻辑设定方法和装置。本发明的课题是提供可以高速地且以较小的存储容量检查IC类部件的错位的技术。作为解决手段,预先存储检查逻辑,该检查逻辑包含规定检查对象部件的部件主体所呈现的颜色的颜色条件、以及判断条件,以不同的入射角对检查对象部件照射多种颜色的光,对其反射光进行拍摄,从而取得包含所述检查对象部件的部件主体的边缘的至少一部分的检查图像,使用所述颜色条件,通过图像处理,从所述检查图像中提取满足所述颜色条件的部件主体区域,通过图像处理确定所述部件主体区域的边缘,通过对所述边缘的特征量的值和所述判断条件进行比较,来判断所述检查对象部件是否为正确的位置和/或角度。

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