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公开(公告)号:CN103429358A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201180066773.4
申请日:2011-11-30
Applicant: 三角形研究学会
Inventor: D·道施 , J·卡尔森 , K·H·基尔克里斯蒂
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/12 , A61B8/445 , A61N7/00 , B06B1/0622 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供了一种涉及与超声换能器装置(UTA,450)形成连接的方法和装置,该超声换能器装置包括具有第一和第二电极的换能器器件。该UTA与插入器器件(650)表面相接合。插入器器件在至少一个横向维度中大于所述UTA并且从所述UTA横向地朝外延伸,并且包括至少两个横向延伸的导体。导电接合形成于第一和第二电极与所述导体的相应第一末端之间。连接支持基板(800)在这些导体的第二末端附近与插入器器件相接合,并且包括与这些导体的相应第二末端形成导电接合的至少两个连接性元件。接下来,该UTA被插入到导管构件(350)内腔中,使得该UTA的器件平面(500)与至少两个连接性元件沿着该内腔轴向地延伸。
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公开(公告)号:CN103348539A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201180066738.2
申请日:2011-11-30
Applicant: 三角形研究学会
Inventor: D·道施 , J·卡尔森 , K·H·基尔克里斯蒂 , S·霍尔
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B1/0008 , A61B8/445 , A61B8/4488 , B06B1/0607 , H01L41/0475
Abstract: 提供了一种包括超声换能器器件的超声器件,该超声换能器器件具有形成换能器阵列的多个换能器元件。每一个换能器元件包括被放置在第一电极和第二电极之间的压电材料。第一和第二电极之一是接地电极,而另一个则是信号电极。该超声器件还包括缆线组件,该缆线组件具有多个连接性信号元件和多个连接性接地元件,它们以基本上平行的关系延伸。每一个连接性元件被配置成与换能器阵列中的换能器元件的相应信号电极和接地电极形成导电接合。连接性接地元件与连接性信号元件交替地被放置在该缆线组件上,以在这些连接性信号元件之间提供屏蔽。
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公开(公告)号:CN102933318A
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN201180017609.4
申请日:2011-01-27
Applicant: 三角形研究学会
Inventor: D·E·道施
CPC classification number: H01L41/09 , B06B1/0622 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供了用于形成金属或其它导电构件的方法,该导电构件从限定空气背衬腔的压电超声换能器(pMUT)设备的空气背衬腔延伸通过邻近pMUT装置的换能器装置设置的基板层并与pMUT装置的第一电极形成导电接合,使得导电构件在第一电极和沉积在pMUT装置的空气背衬腔中的保形导电层之间提供导电接合。也提供了相关的设备。
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公开(公告)号:CN102712470B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201080055142.8
申请日:2010-09-28
Applicant: 三角形研究学会
CPC classification number: C01B3/56 , B01D53/08 , B01D53/83 , B01D53/8696 , B01D2255/20723 , B01D2255/20738 , B01D2255/20761 , B01D2257/30 , B01D2257/60
Abstract: 提供了一种用于从气体中除去杂质的流化反应器系统和相关方法。所述系统包括:流化吸收器,该流化吸收器用于使原料气与吸附剂物流接触以降低原料气的杂质含量;流化固体再生器,该流化固体再生器用于使载有杂质的吸附剂物流与再生气体接触以降低吸附剂物流的杂质含量;第一非机械气体密封形成固体转移装置,该第一非机械气体密封形成固体转移装置适于接纳来自吸收器的载有杂质的吸附剂物流并响应于曝气气体将载有杂质的吸附剂物流以可控流量输送到所述再生器;和第二非机械气体密封形成固体转移装置,该第二非机械气体密封形成固体转移装置适于接纳来自再生器的具有降低的杂质含量的吸附剂物流并将具有降低的杂质含量的吸附剂物流转移到吸收器,而不改变吸附剂物流的流量。
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公开(公告)号:CN1050228C
公开(公告)日:2000-03-08
申请号:CN95113143.5
申请日:1995-12-29
Inventor: 森田达夫 , 罗伯特·J·马库纳斯
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/78
CPC classification number: H01L29/66757 , H01L21/28008 , H01L21/28158 , H01L29/4908 , H01L29/66765
Abstract: 一种薄膜晶体管,包括一个介于栅电极与多晶硅半导体层之间的绝缘体;具有有源区和漏区的多晶硅半导体层;及在源区与漏区之间的沟道。绝缘体包括ONO结构,它有与多晶硅半导体层接触的层间氧化物层,与栅电极接触的顶层氧化物层和介于层间氧化物层与顶氧化物层之间的氮化物层。
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公开(公告)号:CN103347620A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201180066761.1
申请日:2011-11-30
Applicant: 三角形研究学会
CPC classification number: H01L41/0474 , B06B1/0607 , G10K11/004 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/293 , H01L41/332
Abstract: 一种用于形成压电超声换能器装置的方法,该装置所具有被沉积在主基板上设置的介电层上的第一电极。压电材料被沉积在第一电极和第二电极之间以形成换能器器件。至少压电材料被图案化,使得第一电极的部分从其横向地向外延伸。主基板和介电层被蚀刻以形成第一通孔,该第一通孔延伸到第一电极的横向朝外的部分,并且第一导电材料被沉积以基本上填满该第一通孔并且与第一电极的横向朝外的部分形成导电接合。主基板被蚀刻以限定延伸穿过其中的第二通孔,其中,该第二通孔与该第一通孔横向地间隔开。也提供了相关的方法与装置。
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公开(公告)号:CN102971088A
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201180031798.0
申请日:2011-04-22
Applicant: 三角形研究学会
IPC: B06B1/06 , G10K11/00 , H01L41/047
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/4444 , B06B1/0622 , G10K11/002 , H01L41/0475 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/332 , Y10T29/42
Abstract: 提供了涉及一种压电微机械加工式超声换能器(pMUT)的方法和相关的装置,该换能器限定了空气支持的腔。由一器件基板和相关的介电层所限定的并且延伸至第一电极的第一通孔基本上是用第一导电材料填充的。与该器件基板相啮合的一支撑构件限定了第二通孔,该第二通孔延伸至第一导电材料。第二通孔具有被置于其上的第二导电材料,形成了与第一导电材料的导电啮合,并且从第二通孔向外延伸以从外部可达到上述支撑构件。一连接元件延伸穿透由一连接支撑基板所限定的第三通孔,并且与第二导电材料导电啮合,其中,通过啮合于其间的接合材料该连接元件和连接支撑基板之一被接合到该支撑构件与第二导电材料之一。
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公开(公告)号:CN102712470A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201080055142.8
申请日:2010-09-28
Applicant: 三角形研究学会
CPC classification number: C01B3/56 , B01D53/08 , B01D53/83 , B01D53/8696 , B01D2255/20723 , B01D2255/20738 , B01D2255/20761 , B01D2257/30 , B01D2257/60
Abstract: 提供了一种用于从气体中除去杂质的流化反应器系统和相关方法。所述系统包括:流化吸收器,该流化吸收器用于使原料气与吸附剂物流接触以降低原料气的杂质含量;流化固体再生器,该流化固体再生器用于使载有杂质的吸附剂物流与再生气体接触以降低吸附剂物流的杂质含量;第一非机械气体密封形成固体转移装置,该第一非机械气体密封形成固体转移装置适于接纳来自吸收器的载有杂质的吸附剂物流并响应于曝气气体将载有杂质的吸附剂物流以可控流量输送到所述再生器;和第二非机械气体密封形成固体转移装置,该第二非机械气体密封形成固体转移装置适于接纳来自再生器的具有降低的杂质含量的吸附剂物流并将具有降低的杂质含量的吸附剂物流转移到吸收器,而不改变吸附剂物流的流量。
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