公开(公告)号：CN102971088A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201180031798.0

申请日：2011-04-22

Applicant: 三角形研究学会

Inventor： D·道施 ,  J·卡尔森 ,  C·B·桑德斯 ,  S·H·戈德温

IPC: B06B1/06 ,  G10K11/00 ,  H01L41/047

CPC classification number: A61B8/4494 ,  A61B8/4444 ,  B06B1/0622 ,  G10K11/002 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/29 ,  H01L41/332 ,  Y10T29/42

Abstract: 提供了涉及一种压电微机械加工式超声换能器(pMUT)的方法和相关的装置，该换能器限定了空气支持的腔。由一器件基板和相关的介电层所限定的并且延伸至第一电极的第一通孔基本上是用第一导电材料填充的。与该器件基板相啮合的一支撑构件限定了第二通孔，该第二通孔延伸至第一导电材料。第二通孔具有被置于其上的第二导电材料，形成了与第一导电材料的导电啮合，并且从第二通孔向外延伸以从外部可达到上述支撑构件。一连接元件延伸穿透由一连接支撑基板所限定的第三通孔，并且与第二导电材料导电啮合，其中，通过啮合于其间的接合材料该连接元件和连接支撑基板之一被接合到该支撑构件与第二导电材料之一。