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公开(公告)号：CN103026299A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180015336.X
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 公开了一种在一系列写入机中图案化工件的多个层的方法，其中归因于不同机器的不同变换能力的误差通过将误差分配在多个层上来补偿。
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公开(公告)号：CN102985878A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201180016214.2
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 一种在多层封装中系统堆栈的制造中在直接写入机中图案化工件的第二层的方法。该工件具有第一层，第一层具有以任意放置的管芯（1502）的形式的多个电气部件。每个部件具有连接点，其中一些连接点需要连接在部件之间。第一图案，其中包括分布在第一层中的管芯的连接点的不同区域（1510）与对对准的不同要求相关。该方法包括下列步骤：a.探测在第一图案中的具有对与封装中系统堆栈的选定特征或放置的部件的对准的高要求的特别区；b.探测被允许具有对与封装中系统堆栈的其它特征的对准的较低要求的第一图案的延伸区（1510）；c.通过计算经调整的第一图案数据来变换第一图案，包括原始电路图案的变换，使得：i.在相邻特别区中的连接点在可预先设置的对准偏差参数内被对准；以及使得ii.在特别区中的相应连接点的位置之间的偏差在延伸区的连接点的图案中被补偿；d.根据经调整的图案数据将图案写在工件的层上。第一图案也可同时与第二图案匹配。
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公开(公告)号：CN102959469A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180014848.4
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件（2404）的多个层（L1、L2、L3、L4）的方法，所述工件被设计成具有数量为N的层（L1、L2、L3、L4），且所述工件的层具有图案位置的一个或多个边界条件，该方法包括下列步骤：确定层1到N的边界条件；计算归因于边界条件的偏差；以及计算对加上了归因于边界条件的偏差的所分派部分的第一变换的偏差的补偿。
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公开(公告)号：CN103026299B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180015336.X
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 公开了一种在一系列写入机中图案化工件的多个层的方法，其中归因于不同机器的不同变换能力的误差通过将误差分配在多个层上来补偿。
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公开(公告)号：CN102971674A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201180015988.3
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 一种在多层堆栈的制造中在直接写入机中图案化工件的方法，其中包括连接点的图案的第一电路图案（1304）根据确定的配合容差来变换以配合到第二电路图案（1306）的连接点和工件上或工件中的特定特征（例如随机放置的管芯或管芯组）的电路图案。第二层可以是在堆栈的同一工件上或不同工件上以前形成的层或将被形成的层。与选定的管芯相关的图案数据使用由变换位置定义的变换来变换成经调整的电路图案数据，使得电路图案配合到选定的管芯。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102985878B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201180016214.2
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 一种在多层封装中系统堆栈的制造中在直接写入机中图案化工件的第二层的方法。该工件具有第一层，第一层具有以任意放置的管芯（1502）的形式的多个电气部件。每个部件具有连接点，其中一些连接点需要连接在部件之间。第一图案，其中包括分布在第一层中的管芯的连接点的不同区域（1510）与对对准的不同要求相关。该方法包括下列步骤：a.探测在第一图案中的具有对与封装中系统堆栈的选定特征或放置的部件的对准的高要求的特别区；b.探测被允许具有对与封装中系统堆栈的其它特征的对准的较低要求的第一图案的延伸区（1510）；c.通过计算经调整的第一图案数据来变换第一图案，包括原始电路图案的变换，使得：i.在相邻特别区中的连接点在可预先设置的对准偏差参数内被对准；以及使得ii.在特别区中的相应连接点的位置之间的偏差在延伸区的连接点的图案中被补偿；d.根据经调整的图案数据将图案写在工件的层上。第一图案也可同时与第二图案匹配。
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公开(公告)号：CN102959469B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201180014848.4
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件（2404）的多个层（L1、L2、L3、L4）的方法，所述工件被设计成具有数量为N的层（L1、L2、L3、L4），且所述工件的层具有图案位置的一个或多个边界条件，该方法包括下列步骤：确定层1到N的边界条件；计算归因于边界条件的偏差；以及计算对加上了归因于边界条件的偏差的所分派部分的第一变换的偏差的补偿。
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公开(公告)号：CN102939565A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201180015182.4
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 公开了一种用于在直接写入机中图案化设置有管芯的工件的方法，其中相对于写入器坐标系的按照定位和朝向的管芯的位置以及工件的定位和朝向的测量数据用于确定测量位置到在直接写入机的坐标系中定义的变换位置的变换。与选定的管芯或管芯组相关的图案数据根据原始图案数据和变换位置变换成经调整的电路图案数据，其中经调整的电路图案数据表示多个管芯或管芯组的电路图案，使得经调整的电路图案配合到工件区域的多个子区域，且其中每个子区域与分布在工件上的多个管芯当中的一个管芯或管芯组相关。然后，根据经调整的电路图案数据将图案写在工件上。
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公开(公告)号：CN103270453B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201180061905.4
申请日：2011-12-07
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
Inventor： T·桑德史托姆
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70583 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70383 , G03F7/704 , G03F7/70425 , G03F7/70466
Abstract: 一般来说，所描述的技术的一个方面可以体现于包括以下操作的方法中：应用写入机构，所述写入机构具有由在扫描方向和交叉扫描方向上的不同程度的相干相互作用所产生的各向异性写入性质；使用所述写入机构在工件上写入图像图案两次，所述写入机构在第一写入与第二写入之间相对于在所述工件上写入的所述图像图案来旋转，借此用所述旋转的写入机构进行写入使所述各向异性性质得以平均化。将工件与写入机构之间的第一相对运动方向与第二相对运动方向分开的较小夹角在本文所描述的条件下可以是20度或更大，或略微较小。
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公开(公告)号：CN103097956B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201180014722.7
申请日：2011-02-25
Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70383 , H05K3/4679
Abstract: 用于在直接写入机中图案化工件的对准方法，其中设置有板基准特征的基准板用于针对公共基准来协调测量站和写入站的校准。经调整的图案用于写在工件上，其相对于基准板的位置而被计算。
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