公开(公告)号：CN103026299B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180015336.X

申请日：2011-02-25

Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司

Inventor： M·沃尔斯登 ,  T·奥斯特罗姆 ,  P-E·古斯塔夫森

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H05K3/00

CPC classification number: G03F9/7003 ,  G03F7/70383 ,  H05K3/4679

Abstract: 公开了一种在一系列写入机中图案化工件的多个层的方法，其中归因于不同机器的不同变换能力的误差通过将误差分配在多个层上来补偿。

公开(公告)号：CN103026299A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201180015336.X

申请日：2011-02-25

Applicant: 密克罗尼克麦达塔公司

Inventor： M·沃尔斯登 ,  T·奥斯特罗姆 ,  P-E·古斯塔夫森

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H05K3/00

CPC classification number: G03F9/7003 ,  G03F7/70383 ,  H05K3/4679

Abstract: 公开了一种在一系列写入机中图案化工件的多个层的方法，其中归因于不同机器的不同变换能力的误差通过将误差分配在多个层上来补偿。