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公开(公告)号:CN119592916A
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202411190591.3
申请日:2024-08-28
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种蒸发装置包括:第一沉积源;第二沉积源,与第一沉积源一起在第一方向上;主体部件,在与第一方向交叉的第二方向上与第一沉积源和第二沉积源间隔开,并且包括在第二方向上的第一部分和第二部分;喷嘴主体部件,在主体部件上;第一管,连接到第一沉积源的面对主体部件和喷嘴主体部件的侧表面以及第一部分的下端;第二管,连接到第二沉积源的面对主体部件和喷嘴主体部件的侧表面以及第二部分的下端;第一喷嘴,从喷嘴主体部件向上突出;以及第二喷嘴,从喷嘴主体部件向上突出。
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公开(公告)号:CN118222982A
公开(公告)日:2024-06-21
申请号:CN202311749437.0
申请日:2023-12-19
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 实施例提供一种沉积设备,所述沉积设备包括:室;以及沉积源,设置在所述室中并且包括沿第一方向布置的多个喷嘴。所述多个喷嘴包括至少一个第一喷嘴,所述至少一个第一喷嘴包括喷射第一沉积材料的第一喷嘴孔和喷射第二沉积材料的第二喷嘴孔,并且所述沉积源进一步包括至少一个角度控制结构,所述至少一个角度控制结构围绕所述至少一个第一喷嘴。
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公开(公告)号:CN221626359U
公开(公告)日:2024-08-30
申请号:CN202323463651.8
申请日:2023-12-19
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 实施例提供一种沉积设备,所述沉积设备包括:室;以及沉积源,设置在所述室中并且包括沿第一方向布置的多个喷嘴。所述多个喷嘴包括至少一个第一喷嘴,所述至少一个第一喷嘴包括喷射第一沉积材料的第一喷嘴孔和喷射第二沉积材料的第二喷嘴孔,并且所述沉积源进一步包括至少一个角度控制结构,所述至少一个角度控制结构围绕所述至少一个第一喷嘴。
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