公开(公告)号：CN111142339B

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN201911076914.5

申请日：2019-11-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  林彩默 ,  张圣虎 ,  崔珉硕

IPC: G03F7/20

Abstract: 可提供一种极紫外(EUV)聚光设备，所述设备包括：主体，其具有凹陷内部并且被构造为旋转；锡产生器，其被构造为产生锡滴并喷射锡滴；锡捕获器，其被构造为处理喷射的锡滴；保护盖，其被构造为阻止锡滴落入主体中；以及旋转导向件，其被构造为使主体旋转。

公开(公告)号：CN109727894A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811267135.9

申请日：2018-10-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金炳相 ,  孙沂周 ,  李柱铉 ,  金东昱 ,  朴景彬 ,  沈佑燮 ,  金正旭 ,  刘灏 ,  崔命受 ,  黄恩秀

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开提供了基板处理装置。一种基板处理装置包括：排气单元、喷洒头以及调节器。排气单元包括其中形成出口的下表面以及从上述下表面延伸的四个侧壁。排气单元包括从两个相对侧壁突出的排气翼。喷洒头位于排气单元中并具有分布孔。调节器被设置在排气翼之间的排气单元的每个侧壁上。

公开(公告)号：CN111142339A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201911076914.5

申请日：2019-11-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  林彩默 ,  张圣虎 ,  崔珉硕

IPC: G03F7/20

Abstract: 可提供一种极紫外(EUV)聚光设备，所述设备包括：主体，其具有凹陷内部并且被构造为旋转；锡产生器，其被构造为产生锡滴并喷射锡滴；锡捕获器，其被构造为处理喷射的锡滴；保护盖，其被构造为阻止锡滴落入主体中；以及旋转导向件，其被构造为使主体旋转。

公开(公告)号：CN109521642A

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201810972558.4

申请日：2018-08-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  崔命受 ,  金东昱 ,  金正旭 ,  孙沂周 ,  李成圭 ,  黃恩秀

IPC: G03F7/00

Abstract: 本公开提供了压印装置和制造显示面板的方法。一种压印装置包括：工作台，该工作台支承模压母模或者衬底，在模压母模上形成有用于在柔性衬底上形成模压图案的母模图案，通过与模压图案接触，在衬底上形成有对应于模压图案的图案；卷对卷移动器，其沿着邻近于工作台的路径移动柔性衬底；夹具，其包括固定柔性衬底的第一部分的前夹具以及固定柔性衬底的与第一部分间隔开的第二部分的后夹具；加压辊子，其按压柔性衬底，以使得由夹具固定的柔性衬底与衬底或模压母模接触；以及夹具驱动控制器，其驱动夹具，以调整第一部分与第二部分之间的张力。

公开(公告)号：CN109388019A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201810794958.0

申请日：2018-07-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金东昱 ,  李柱铉 ,  金炳相 ,  朴景彬 ,  孙沂周 ,  刘灏

IPC: G03F7/00

Abstract: 本公开提供了一种膜框架、用于制造显示基板的系统以及制造显示基板的方法，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

公开(公告)号：CN109388019B

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN201810794958.0

申请日：2018-07-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金东昱 ,  李柱铉 ,  金炳相 ,  朴景彬 ,  孙沂周 ,  刘灏

IPC: G03F7/00

Abstract: 本公开提供了一种膜框架、用于制造显示基板的系统以及制造显示基板的方法，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

公开(公告)号：CN110579941A

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201910119201.6

申请日：2019-02-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  金炳相 ,  金乙泰 ,  黄恩秀

IPC: G03F7/00

Abstract: 提供了一种压印压辊装置。所述压印压辊装置包括：辊构件，在关于轴旋转的同时向下施加压力；轴承座，结合到辊构件的两个端部以允许辊构件的旋转；以及框架，结合到轴承座以支撑辊构件和轴承座，其中，轴承座包括：结合部，连接到轴；芯部，在竖直方向上从结合部延伸；第一线圈，完全围绕芯部的侧面；以及第二线圈，完全围绕芯部的侧面并且设置在第一线圈上以与第一线圈分隔开。

公开(公告)号：CN110543080A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201910405326.5

申请日：2019-05-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  金炳相 ,  朴景彬

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了半导体压印装置和半导体压印装置的操作方法。该半导体压印装置包括：支撑基板的载物台；膜夹具，将包括图案的膜印模施加到基板上；辊，向设置在基板上的膜印模施加压力，使得所述图案被转印到基板；相机，捕获辊和膜印模的图像；以及控制器，通过使用所述图像调节膜夹具的位置。所述图案用于形成半导体器件。

公开(公告)号：CN111948911B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。

公开(公告)号：CN111948911A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。