压电喷墨打印头及其制造方法

    公开(公告)号:CN101007462A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200610151301.X

    申请日:2006-09-05

    Abstract: 本发明公开了一种压电喷墨打印头及其制造方法。压电喷墨打印头构造成具有两个堆叠并连结的衬底。上衬底由单晶硅衬底或SOI衬底形成并包括穿过该上衬底的墨入口。下衬底由SOI衬底形成,SOI衬底具有第一硅层、中间氧化层和第二硅层顺序堆叠的结构。歧管、压力室和阻尼器通过湿法或干法蚀刻而形成在第二硅层中,喷嘴通过干法蚀刻而穿过中间氧化层和第一硅层形成。压电致动器形成在上衬底上,用于向各压力室施加驱动力,以喷射墨。该压电喷墨打印头构造成具有少量的衬底,从而减小了制造过程和成本,中间氧化层用作蚀刻停止层,以均匀地形成喷嘴,从而提高墨喷射性能。

    在喷墨打印头喷嘴板的表面上形成疏水性涂层的方法

    公开(公告)号:CN1970300A

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200610105417.X

    申请日:2006-07-06

    Abstract: 提供了一种在喷墨打印头的喷嘴板表面上形成疏水性涂层的方法。根据所述方法,在所述喷嘴板内形成多个喷嘴,并在所述喷嘴板的表面上叠置膜,以覆盖每一喷嘴的出口。之后,采用电镀法,在每一喷嘴的内壁上以及覆盖每一喷嘴的膜的内表面上形成预定金属层。接下来,从喷嘴板的表面去除所述膜,并在所述喷嘴板的表面上形成疏水性涂层,以覆盖通过每一喷嘴的出口暴露的金属层。之后,去除在每一喷嘴的内壁上形成的金属层和在所述金属层的表面上形成的疏水性涂层。

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