制造用于鳍式场效应晶体管的源极-漏极接触件的方法

    公开(公告)号:CN107527816B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201710446932.2

    申请日:2017-06-14

    Abstract: 提供了一种用于对鳍式场效应晶体管器件的源极‑漏极结构形成低寄生电容接触件的方法。在一些实施例中所述方法包括将长沟槽向下刻蚀至源极‑漏极结构,沟槽足够长以延伸横跨器件的所有源极‑漏极区。导电层形成在源极‑漏极结构上,沟槽填充有第一填充材料。第二、较窄沟槽沿第一沟槽的长度的一部分开口,并且填充有第二填充材料。第一填充材料可以是导电的,并且可以形成所述接触件。如果第一填充材料不是导电的,则第三沟槽可以在第一沟槽的未填充有第二填充材料的部分中开口,并且填充有导电材料以形成所述接触件。

Patent Agency Ranking