沟道隔离结构、具有该结构的半导体器件以及沟道隔离方法

    公开(公告)号:CN1293452A

    公开(公告)日:2001-05-02

    申请号:CN00134717.9

    申请日:2000-10-12

    CPC classification number: H01L21/76235

    Abstract: 提供了一种通过使沟道顶部边缘圆形化并增加沟道顶部边缘的氧化物量来防止驼峰现象和晶体管的反相窄宽度效应的沟道隔离结构,具有该结构的半导体器件以及沟道隔离方法。在该沟道隔离方法中,在半导体衬底的非作用区域内形成一个沟道。沟道内壁上形成厚度在10—150埃之间的内壁氧化物薄膜。在内壁氧化物薄膜的表面形成一个衬层。用介质薄膜填充沟道。蚀刻部分衬层,使得该氮化硅衬层的顶端可以从半导体衬底的表面凹进。

    偷盗和遗失包裹检测系统和检测方法

    公开(公告)号:CN101426128B

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN200710165489.8

    申请日:2007-10-30

    Inventor: 马赓宇 朴泰绪

    Abstract: 本发明提供了一种用于监视系统中的偷盗和遗失包裹检测系统及其检测方法,其中,所述偷盗和遗失包裹检测系统包括:图像捕获装置,用于监视关注的场景并为系统捕获新图像;场景模块,使用场景模型记录场景的历史;场景对比和模型更新模块,按照像素级别将新图像和场景模型进行比较,根据对比结果来更新场景模型,并利用被记载在像素模型中的时间信息来判断每个像素的状态,从而获得关注像素以构造标记图像,其中,每个像素的状态为背景、前景或关注;关注区域提取模块,利用时空信息提取指示发生了偷盗或遗失包裹事件的关注区域并输出该关注区域;显示单元,显示指示发生了偷盗事件或遗失包裹事件的关注区域。

    偷盗和遗失包裹检测系统和检测方法

    公开(公告)号:CN101426128A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200710165489.8

    申请日:2007-10-30

    Inventor: 马赓宇 朴泰绪

    Abstract: 本发明提供了一种用于监视系统中的偷盗和遗失包裹检测系统及其检测方法,其中,所述偷盗和遗失包裹检测系统包括:图像捕获装置,用于监视关注的场景并为系统捕获新图像;场景模块,使用场景模型记录场景的历史;场景对比和模型更新模块,按照像素级别将新图像和场景模型进行比较,根据对比结果来更新场景模型,并利用被记载在像素模型中的时间信息来判断每个像素的状态,从而获得关注像素以构造标记图像,其中,每个像素的状态为背景、前景或关注;关注区域提取模块,利用时空信息提取指示发生了偷盗或遗失包裹事件的关注区域并输出该关注区域;显示单元,显示指示发生了偷盗事件或遗失包裹事件的关注区域。

    沟槽隔离结构、具有该结构的半导体器件以及沟槽隔离方法

    公开(公告)号:CN1194400C

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN00134717.9

    申请日:2000-10-12

    CPC classification number: H01L21/76235

    Abstract: 提供了一种通过使沟槽顶部边缘圆形化并增加沟槽顶部边缘的氧化物量来防止驼峰现象和晶体管的反相窄宽度效应的沟槽隔离结构,具有该结构的半导体器件以及沟槽隔离方法。在该沟槽隔离方法中,在半导体衬底的非有源区域内形成一个沟槽。沟槽内壁上形成厚度在10-150埃之间的内壁氧化物膜。在内壁氧化物膜的表面形成一个衬层。用介质膜填充沟槽。蚀刻部分衬层,使得该氮化硅衬层的顶端可以从半导体衬底的表面凹进。在沟槽的顶部边缘和半导体基底的表面上形成栅极氧化物膜,位于沟槽顶部边缘的栅极氧化物膜比位于半导体基底表面上的栅极氧化物膜厚,且与介质膜间隔开。

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