公开(公告)号：CN113140572B

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202110061098.1

申请日：2021-01-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李正吉 ,  金硕埙 ,  朴成明 ,  李赞扬 ,  朴皓年

IPC: H10B43/00 ,  H10B43/40 ,  H10B43/20 ,  H01L23/535

Abstract: 一种布线结构包括衬底上的第一金属图案至第三金属图案。第一金属图案在第二方向上延伸，并且在第三方向上具有第一宽度。第二金属图案在第三方向上延伸以与第一金属图案交叉，并且在第二方向上具有第二宽度。第三金属图案在第一金属图案和第二金属图案彼此交叉的区域处连接到第一金属图案和第二金属图案，并且具有在每个角中具有凹部的实质上矩形形状。第三金属图案具有第三宽度，其被定义为凹部中的在与第二方向和第三方向成锐角的第四方向上的相对的凹部之间的最小距离，第三宽度小于或等于第一宽度和第二宽度中更小的一个。

公开(公告)号：CN113140572A

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN202110061098.1

申请日：2021-01-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李正吉 ,  金硕埙 ,  朴成明 ,  李赞扬 ,  朴皓年

IPC: H01L27/11563 ,  H01L27/11573 ,  H01L27/11578 ,  H01L23/535

Abstract: 一种布线结构包括衬底上的第一金属图案至第三金属图案。第一金属图案在第二方向上延伸，并且在第三方向上具有第一宽度。第二金属图案在第三方向上延伸以与第一金属图案交叉，并且在第二方向上具有第二宽度。第三金属图案在第一金属图案和第二金属图案彼此交叉的区域处连接到第一金属图案和第二金属图案，并且具有在每个角中具有凹部的实质上矩形形状。第三金属图案具有第三宽度，其被定义为凹部中的在与第二方向和第三方向成锐角的第四方向上的相对的凹部之间的最小距离，第三宽度小于或等于第一宽度和第二宽度中更小的一个。