制造半导体发光装置的方法

    公开(公告)号:CN103426982A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201310196886.7

    申请日:2013-05-24

    CPC classification number: H01L33/0079

    Abstract: 提供了一种制造半导体发光装置的方法。所述方法包括通过在半导体生长基板上顺序地生长第一导电类型半导体层、活性层和第二导电类型半导体层来形成发光结构。在第二导电类型半导体层上设置支撑单元,以与发光结构结合。从发光结构分离半导体生长基板。湿法蚀刻半导体生长基板和残留的发光结构之间的界面,从而使残留在分离后的半导体生长基板上的发光结构从半导体生长基板分离。清洗半导体生长基板。

Patent Agency Ranking