公开(公告)号：CN101274392B

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200810090313.5

申请日：2008-03-28

Applicant: 三星钻石工业株式会社

Inventor： 小川纯一 ,  栗山规由 ,  林和夫 ,  庭山博

IPC: B23K26/03 ,  B23K26/02 ,  B23K26/40

Abstract: 提供能够在观察像中明确地识别在透明基板上形成的不透明的器件图案的观察方法和观察装置。在形成有器件图案(3)的一侧粘贴粘接板(4)，将透明基板固定于透明的承载台(7)，从承载台(7)的上方重叠地照射同轴透射照明光(L1)和斜射透射照明光(L2)，通过使用背面观察单元(6)从承载台(7)的下方经由承载台(7)进行观察，在观察像中，对应于器件图案(3)观察到暗的(黑色的)器件图案像，和除器件图案像以外的明亮的部分。并且，对应于气泡的部分很明亮。从而能够在观察像中明确地确定器件图案(3)的形状。

公开(公告)号：CN111438442A

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201911327438.X

申请日：2019-12-20

Applicant: 三星钻石工业株式会社

Inventor： 庭山博 ,  宮崎宇航

IPC: B23K26/36 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种以优异的品质分割SiC基板的方法以及装置。一种SiC基板的分割方法(装置)，具有：刻划工序(单元)，在所述SiC基板的一个主面通过沿预先确定的预定分割位置以100mm/s至300mm/s的扫描速度一边扫描一边照射激光，从而形成深度为12μm至30μm、宽度为1μm至10μm的剖视呈U字形的槽状的刻划线；裂片工序(单元)，将形成有刻划线的SiC基板以与一个主面相向的另一个主面作为上表面的姿态水平地载置于以规定的间隔分离的一对裂片板上，在该状态下通过使劈刀从SiC基板的上表面侧抵接于预定分割位置，并进一步下压劈刀来使裂纹自刻划线伸展，由此在预定分割位置将SiC基板分割。