公开(公告)号：CN1800435A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200610000430.9

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 郑星和 ,  韩尚辰 ,  姜有珍

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56

CPC classification number: G03F9/7038 ,  G03F7/70791 ,  G03F9/7088

Abstract: 一种用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法，其中该装置包括：在基板和罩板的未使用部分中的对准标记，用于在基板与罩板对准时确定对准标记重叠的传感单元，以及用于根据由传感单元所测量和确定的数据而控制对准过程重复进行的控制单元。传感单元可以包括：位于拍摄范围之内以确定对准标记的任何对准误差的照相机。根据本发明的另一实施例，测量基板和罩板间的对准误差来确定该对准误差是否可以接受。当该对准误差不可接受时，重复进行对准基板和罩板的操作，直至对准误差可以接受为止。

公开(公告)号：CN1800438A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200610002584.1

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 郑星和 ,  姜有珍

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56

Abstract: 本发明公开了用于沉积系统的装置，包括将驱动轴与沉积材料之间密封以避免沉积材料粘在驱动轴上的密封装置，降低支架在驱动轴上的重量的移动装置，和测量支架和相邻物之间距离的碰撞防止装置。

公开(公告)号：CN1800437A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200610002583.7

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 郑星和 ,  黄珉婷

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  H01L21/677

Abstract: 一种用于以高速传送垂直托盘的装置，该装置能够感知该托盘的进入和卸下。该装置包括传送单元，该传送单元具有由驱动源驱动以形成传送路径的滑轮。这些滑轮与固定部件接触，该固定部件被附着到固定到托盘上的基板和罩板的底边上。该装置还包括传感单元，该传感单元具有安装在该传送路径下以探测托盘的进入和卸下的传感器。该装置还可以包括被布置以与托盘上部两侧接触的辊子，并且这些辊子可以与嵌入沿着传送路径的导轨的运动部件连接，以便当托盘经过两个辊子之间时，辊子能够平移。这些沿托盘两侧的辊子可以对称布置或者以锯齿形交替布置。

公开(公告)号：CN1800436A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200610000431.3

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 郑星和 ,  韩尚辰 ,  姜有珍

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56

Abstract: 一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：形成的带有连接孔的垂直定位的托盘，以及具有连接臂以与这些连接孔连接并且防止托盘和托盘固定器弯曲的托盘固定器。该托盘包括能够容纳基板的基板框，并且该托盘固定器与驱动轴连接，以将垂直位置的托盘传送到用于汽相淀积的罩板。多个导引轴的一端可靠接触托盘固定器的后侧，以防止该托盘固定器弯曲。该托盘可以具有磁连接部件，并且该托盘固定器可以具有对应于这些连接部件的支撑部件。这些支撑部件能够在由相应凹槽或突起决定的位置与连接部件磁连接，以对准托盘和托盘固定器。