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公开(公告)号:CN114450377B
公开(公告)日:2024-06-28
申请号:CN201980100820.9
申请日:2019-10-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 蓄热装置,包括:容器,其封入有蓄热材料,上述蓄热材料具有温敏性高分子凝胶,上述温敏性高分子凝胶由选自水、有机溶剂、和水或有机溶剂的化合物中的溶剂、和温敏性高分子构成;和换热器,其容纳于容器,与加热冷却用流体进行热交换以将蓄热材料加热或冷却,将温热或冷热蓄积于蓄热材料,且与热利用流体进行热交换以从蓄热材料吸热,从蓄热材料放热,就蓄热材料而言,以下限临界溶液温度为边界,亲水性与疏水性可逆地变化,在亲水性与疏水性的变化的过程中,温敏性高分子凝胶中所含的溶剂维持液体状态。
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公开(公告)号:CN111936597B
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN201980023447.1
申请日:2019-03-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor: 信时英治
IPC: C09K5/14 , C08F220/56
Abstract: 蓄热材料,所述蓄热材料由温敏性高分子凝胶构成,所述温敏性高分子凝胶由温敏性高分子、和选自水、有机溶剂和它们的混合物中的溶剂构成,其特征在于,以下限临界溶液温度为界,亲水性与疏水性可逆地变化,并且在所述变化的过程中,所述温敏性高分子凝胶中所含的所述溶剂维持液体状态。
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公开(公告)号:CN111936597A
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN201980023447.1
申请日:2019-03-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor: 信时英治
IPC: C09K5/14 , C08F220/56
Abstract: 蓄热材料,所述蓄热材料由温敏性高分子凝胶构成,所述温敏性高分子凝胶由温敏性高分子、和选自水、有机溶剂和它们的混合物中的溶剂构成,其特征在于,以下限临界溶液温度为界,亲水性与疏水性可逆地变化,并且在所述变化的过程中,所述温敏性高分子凝胶中所含的所述溶剂维持液体状态。
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公开(公告)号:CN101410958B
公开(公告)日:2011-10-12
申请号:CN200780010859.9
申请日:2007-03-23
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/314 , H01L21/31 , C23C16/507
CPC classification number: H01L21/02274 , C23C16/30 , C23C16/342 , C23C16/511 , H01J37/32532 , H01L21/02112 , H01L21/02205 , H01L21/318
Abstract: 提供了一种等离子体CVD设备,所述等离子体CVD设备包括:具有用于供给具有环硼氮烷骨架化合物的入口(5)的反应室(1);设置在反应室(1)中的供电电极(7),用于支承衬底(8)并且被施加负电荷(7);以及等离子体产生工具(12),其介由衬底(8)与供电电极(7)相对设置,用于在反应室(1)内产生等离子体(11)。还提供了一种薄膜形成方法,其中薄膜通过采用具有环硼氮烷骨架的化合物作为原料而形成,以及包括由这样方法形成的薄膜作为绝缘膜的半导体装置。本发明能够产生其中低介电常数和高机械强度可稳定保持长时间且保证绝缘特性的薄膜。
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公开(公告)号:CN101044603A
公开(公告)日:2007-09-26
申请号:CN200580035904.7
申请日:2005-10-07
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/312 , H01L21/31 , H01L21/768 , C23C16/38 , C23C16/509
CPC classification number: C23C16/38 , H01L21/318 , H01L21/76801
Abstract: 本发明提供等离子体CVD装置,其具备供给含有硼嗪骨架的化合物的设备(5)、为了发生等离子体的等离子体发生器、在设置基板(8)的电极(7)上施加负电荷的设备(2)。根据这样的本发明,可以提供长期稳定地获得低介电常数和高机械强度,同时降低在加热膜时放出的气体成分(脱气)量,在器件制造工艺上不引起不适宜情况的等离子体CVD装置。
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公开(公告)号:CN1182547C
公开(公告)日:2004-12-29
申请号:CN01815057.8
申请日:2001-06-19
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C22C38/001 , C22C38/002 , C22C38/005 , C22C38/10 , C22C38/16 , H01F1/057 , H01F1/0577 , H01F1/059
Abstract: 本发明的目的在于提供具有高的矫顽力和剩磁的稀土类永久磁铁材料。即,本发明的永久磁铁,是由从28~35重量%的钕Nd、镨Pr、镝Dy、铽Tb、钬Ho构成的组中选择的1种以上的稀土类元素、0.9~1.3重量%的硼B、0.25~3重量%的磷P、铁Fe以及不可避免的杂质构成的。还可以进一步含有0.1~3.6重量%的钴Co和0.02~0.25重量%的铜Cu。
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公开(公告)号:CN114450377A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN201980100820.9
申请日:2019-10-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 蓄热装置,包括:容器,其封入有蓄热材料,上述蓄热材料具有温敏性高分子凝胶,上述温敏性高分子凝胶由选自水、有机溶剂、和水或有机溶剂的化合物中的溶剂、和温敏性高分子构成;和换热器,其容纳于容器,与加热冷却用流体进行热交换以将蓄热材料加热或冷却,将温热或冷热蓄积于蓄热材料,且与热利用流体进行热交换以从蓄热材料吸热,从蓄热材料放热,就蓄热材料而言,以下限临界溶液温度为边界,亲水性与疏水性可逆地变化,在亲水性与疏水性的变化的过程中,温敏性高分子凝胶中所含的溶剂维持液体状态。
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公开(公告)号:CN1451166A
公开(公告)日:2003-10-22
申请号:CN01815057.8
申请日:2001-06-19
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C22C38/001 , C22C38/002 , C22C38/005 , C22C38/10 , C22C38/16 , H01F1/057 , H01F1/0577 , H01F1/059
Abstract: 本发明的目的在于提供具有高的保磁力和残留磁力线密度的稀土类永久磁铁材料。即,本发明的永久磁铁,是由从28~35重量%的钕Nd、镨Pr、镝Dy、铽Tb、钬Ho构成的群中选择的1种以上的稀土类元素、0.9~1.3重量%的硼B、0.25~3重量%的磷P、铁Fe以及不可避免的杂质构成的。还可以进一步含有0.1~3.6重量%的钴Co和0.02~0.25重量%的铜Cu。
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