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公开(公告)号：CN1425531A
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：CN02126884.3
申请日：1996-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/02
CPC classification number: B23K26/0673 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2103/08 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , G03F7/2006 , H05K3/0017
Abstract: 本发明提供一种具备聚光光学系统与像转印光学系统两者，根据加工对象分别单独使用，从而可以扩大可加工范围，而且可以提高加工精度的激光加工装置。它包括：具有置于激光振荡器1与待加工物7之间光路中的遮光板以及使该遮光板的像缩小成像在加工面上的透镜的像转印光学系统3；聚光光学系统5；选择上述系统两者中任意一方的驱动装置11；控制上述系统两者与驱动装置11的NC装置9。根据所加工的孔径和孔深，选择上述系统两者中的任意一个。
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公开(公告)号：CN1178153A
公开(公告)日：1998-04-08
申请号：CN97115410.4
申请日：1997-07-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: H05K3/0026 , B23K26/066 , B23K26/389 , H05K2201/09827 , H05K2203/0557
Abstract: 一种用激光加工布线板的方法及其装置,其特征在于,在激光振荡器与加工透镜间的光路上设置遮挡部分激光的遮光体,对该遮光体照射所述激光,将通过所述遮光体的所述激光中非遮光部分引向所述加工透镜,对布线板进行加工。通过激光中聚光特性可变的激光,可将加工孔加工成预定的锥角。
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公开(公告)号：CN1108895C
公开(公告)日：2003-05-21
申请号：CN97115410.4
申请日：1997-07-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: H05K3/0026 , B23K26/066 , B23K26/389 , H05K2201/09827 , H05K2203/0557
Abstract: 一种用激光加工布线板的方法及其装置，其特征在于，在激光振荡器与加工透镜间的光路上设置遮挡部分激光的遮光体，对该遮光体照射所述激光，将通过所述遮光体的所述激光中非遮光部分引向所述加工透镜，对布线板进行加工。通过激光中聚光特性可变的激光，可将加工孔加工成预定的锥角。
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公开(公告)号：CN1388771A
公开(公告)日：2003-01-01
申请号：CN01802636.2
申请日：2001-07-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/073
CPC classification number: B23K26/0608 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/067 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/382 , B23K2103/50
Abstract: 本发明的激光加工装置具有产生激光的激光振荡器(3)、主偏转反射镜(7)、Fθ透镜(10)、设在激光振荡器(3)与主偏转反射镜(7)之间的光路中的副偏转装置(6)。另外,具有分光激光的装置(19、28),在被分光的激光光路(18b、26b、27b)上插入上述副偏转装置(6),同时使被分光的两激光(18a、18b、26a、26b、27a、27b)从同一主偏转反射镜(7)入射到Fθ透镜(10),将主偏转反射镜(7)和Fθ透镜(10)和被加工物(9)的光路系统中的数值孔径构成为0.08以上。
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公开(公告)号：CN1195603C
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN02126884.3
申请日：1996-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/02
CPC classification number: B23K26/0673 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2103/08 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , G03F7/2006 , H05K3/0017
Abstract: 本发明提供一种具备聚光光学系统与像转印光学系统两者，根据加工对象分别单独使用，从而可以扩大可加工范围，而且可以提高加工精度的激光加工装置。它包括：具有置于激光振荡器1与待加工物7之间光路中的遮光板以及使该遮光板的像缩小成像在加工面上的透镜的像转印光学系统3；聚光光学系统5；选择上述系统两者中任意一方的驱动装置11；控制上述系统两者与驱动装置11的NC装置9。根据所加工的孔径和孔深，选择上述系统两者中的任意一个。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1145540C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN99816413.5
申请日：1999-03-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: G05B19/4103 , B23K26/08 , B23K26/389 , G05B2219/34391 , G05B2219/35304 , G05B2219/45165 , G05B2219/49384
Abstract: 本发明的激光加工装置具备：产生激光的激光振荡器(3)；具有形成将从所述激光振荡器(3)输出的所述激光(2)导向被加工物(1)的光路的电流计式反射镜(5a、5b)与fθ透镜(7)的光路系统；设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件(11)。
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公开(公告)号：CN1124917C
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：CN97182515.7
申请日：1997-12-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明揭示一种激光加工装置，包括变化由激光振荡器输出的激光的方向的偏转装置，以及使由前述偏转装置射入的激光折射而在加工对象工件上成像的聚焦透镜。在这种激光加工装置中，组入根据聚焦透镜温度、使由多片的透镜组成的聚焦透镜的透镜间的相对位置变化的透镜位置调整装置，根据聚焦透镜温度、使多片的透镜间的相对位置变化、以便根据透镜位置调整装置、消除透镜的折射率的温度变化。
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公开(公告)号：CN1299465A
公开(公告)日：2001-06-13
申请号：CN98814134.5
申请日：1998-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G01R31/309 , G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/956
Abstract: 一种印刷电路基板的检查装置,设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置,能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意坐标位置处,用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光,依据检测器的输出信号判断各坐标位置检查结果是否良好。
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公开(公告)号：CN1163177A
公开(公告)日：1997-10-29
申请号：CN96121009.5
申请日：1996-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/0673 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2103/08 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , G03F7/2006 , H05K3/0017
Abstract: 本发明提供一种具备聚光光学系统与像转印光学系统两者，根据加工对象分别单独使用，从而可以扩大可加工范围，而且可以提高加工精度的激光加工装置。它包括：具有置于激光振荡器1与待加工物7之间光路中的遮光板以及使该遮光板的像缩小成像在加工面上的透镜和像转印光学系统3；聚光光学系统5；选择上述系统两者中任意一方的驱动装置11；选择上述系统两者与驱动装置11的NC装置9。根据所加工的孔径和孔深，选择上述系统两者中的任意一个。
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