公开(公告)号：CN119001676A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411137119.3

申请日：2024-08-19

Applicant: 上海交通大学 ,  上海交通大学内蒙古研究院

Inventor： 彭昭亮 ,  方肖勇 ,  李艳辉 ,  周峻峰 ,  李昂 ,  易志然 ,  邵磊 ,  张文明

IPC: G01S7/484 ,  G01S7/4863 ,  G01S7/481 ,  G01S17/06

Abstract: 本发明提供了一种用于MEMS激光雷达的光学收发系统及雷达，光学收发系统包括光学发射系统和接收系统；光学发射系统包括依次设置的边发射激光光源组件、菲涅耳型柱面准直透镜组、新型MEMS振镜扫描组件；光学接收系统包括弯月型接收透镜组、雪崩光电二极管组件。本发明采用了特殊的准直匀化方案和无串扰、双轴独立驱动的新型MEMS振镜，同时提高了测量距离、扫描精度和点云密度；并且采用了弯月透镜用于聚焦小光斑，增加了一块非球面透镜，在增大视场角的同时显著减小球面像差，提高成像质量，实现了±20°的光学视场角。本发明有效解决了大光斑和机械串扰导致扫描精度差的问题，同时设计了光学接收系统，可以在不降低成像质量的条件下显著增大接收视场角。

公开(公告)号：CN118759712A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202411136951.1

申请日：2024-08-19

Applicant: 上海交通大学内蒙古研究院

Inventor： 方肖勇 ,  李艳辉 ,  屠尔琪 ,  李昂 ,  周峻峰 ,  张文明

IPC: G02B26/08 ,  G01S7/481 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明提供了一种无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜、封装结构及雷达。所述无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜，包括支撑衬底、固定框架、第一电极、第二电极、第一慢轴支撑梁、第二慢轴支撑梁、平衡框、电磁驱动线圈、第一快轴支撑梁、第二快轴支撑梁、反射镜面以及驱动永磁体；反射镜面的两端分别通过第一快轴支撑梁和第二快轴支撑梁与平衡框可转动连接，平衡框的两端分别通过第一慢轴支撑梁和第二慢轴支撑梁与固定框架可转动连接；电磁驱动线圈的两端分别与第一电极和第二电极连接；驱动永磁体安装在支撑衬底上。本发明消除两轴之间的机械串扰，并且避免了在反射镜面周围制造电磁驱动线圈，消除了镜面热变形的影响。

公开(公告)号：CN112960643A

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN202110209567.X

申请日：2021-02-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方肖勇 ,  张文明 ,  胡开明 ,  亓文豪 ,  刘春程

IPC: B81C99/00

Abstract: 一种基于光学转角测量装置的MEMS微镜可靠性测试方法，将待测试MEMS微镜置于高低温试验箱中，调整微镜的反射镜面与观察窗平行，测量观察窗与MEMS微镜封装玻璃片的距离，安装光学转角测量装置并打开激光器，使得激光出射点落在准直透镜的焦点上，利用凸透镜光会聚特性减小出射激光束的发散角，通过调节双头反向微调螺杆的旋进旋出程度调整前端机构和后端机构的相对位姿关系使得准直后激光垂直入射观察窗并对准MEMS微镜工作反射镜面，利用光学转角测量装置在光屏坐标纸上读取MEMS微镜的光学扫描长度，通过三角函数关系式计算所测试的MEMS微镜的光学转角。本发明实现便捷，可靠性高，检测机构易于生产加工。

公开(公告)号：CN117031735A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202311097780.1

申请日：2023-08-29

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方肖勇 ,  屠尔琪 ,  易志然 ,  张文明

IPC: G02B26/08

Abstract: 一种用于准静态转动和非谐振扫描的MEMS压电微镜，包括：固定衬底和设置于其上的固定框架、位于固定框架内的压电驱动器以及位于压电驱动器内的反射镜面，其中：反射镜面的两端通过支撑梁连接至固定框架上，压电驱动器关于支撑梁对称分布于反射镜面两侧，压电驱动器分别通过弹性连接折叠梁与反射镜面相连的同时通过锚点与固定框架相连。本发明基于一体化制造的压电驱动器，通过将压电驱动器布置在反射镜面两侧，支撑梁内插于压电驱动器中间，从而保证反射镜面较高的占空比，同时，在较低电压驱动下实现对反射镜面的准静态驱动，结构简单、功耗低、易于加工制造。

公开(公告)号：CN118858164A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410886925.4

申请日：2024-07-03

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 屠尔琪 ,  方肖勇 ,  张文明 ,  杨广中 ,  陈松良 ,  周加胜

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01 ,  G01N29/06 ,  G01N29/02 ,  G01N29/22 ,  A61B5/00 ,  H02K7/14 ,  H01F7/06

Abstract: 一种基于微型金属扫描镜的水下光声成像方法，通过微型金属扫描镜反射激光到待测样品，待测样品吸收光能温度升高发生热膨胀进而产生超声波形式的光声信号，通过采集经由微型扫描镜反射的光声信号并对比发射激光和反射的光声信号的时间间隔、光声信号的强弱，得到光声成像结果。本发明基于精密金属加工技术和多段弹性蛇形梁结构制造用于扫描运动的金属片，采用动磁式驱动方案，通过将永磁体固定在金属片上并且在固定底座内安置电磁线圈，利用周期性电磁力驱动微扫描镜在水下工作，进而实现光声成像，结构简单、易组装、成本低廉并且稳定性高。

公开(公告)号：CN118033895A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410223381.3

申请日：2024-02-28

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方肖勇 ,  屠尔琪 ,  易志然 ,  张文明

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  G01S7/481

Abstract: 一种圆形镜面的钛合金扫描振镜，其特征在于，包括：固定底座、嵌入其中的永磁铁组、设置于永磁铁组上的钛合金扫描振镜簧片、分别设置于钛合金扫描振镜簧片的正、背面中心的硅反射镜和驱动线圈，钛合金扫描振镜簧片上设有四组蛇形折叠支撑梁，其两端分别与钛合金扫描振镜簧片的外框和中心相连以及支撑硅反射镜。本发明基于印刷电路板和电火花切割的制造技术，实现了钛合金簧片和布线电路板的一体化制造加工；通过采用蛇形折叠支撑梁的设计，保证大口径反射镜面能够以较高频率实现大转角扫描；通过改进的永磁铁排布方式，减小了钛合金扫描振镜的体积，降低了功耗。

公开(公告)号：CN112960643B

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202110209567.X

申请日：2021-02-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方肖勇 ,  张文明 ,  胡开明 ,  亓文豪 ,  刘春程

IPC: B81C99/00