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公开(公告)号：CN115435697A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211000102.4
申请日：2022-08-19
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于线性回归模型的微结构台阶高度表征方法，属于微纳米计量领域。首先生成一系列微结构仿真台阶，获取仿真台阶表面各个点的高度值并计算仿真台阶的高度真值，生成预训练样本数据集，对线性回归模型进行预训练。再针对一批待测微结构样本，取样并测量微结构样本的台阶表面类型以及台阶高度范围，进而生成一系列相同台阶表面类型的微结构仿真台阶，生成二次训练样本数据集，对预训练的线性回归模型进行二次训练，利用二次训练后的线性回归模型对其余待测微结构样本进行台阶高度测量。本发明可以对微结构的台阶高度进行快速、精确地计算，对提高高端芯片等半导体元器件精密制造过程中的检测效率有重要意义。
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