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公开(公告)号：CN117488277A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311659380.5
申请日：2023-12-05
IPC: C23C16/455 , C23C16/32
Abstract: 本发明公开了一种化学气相沉积炉的导流装置，包括阿基米德螺线导流锥和十字导流支架，所述阿基米德螺线导流锥包括锥本体和阿基米德螺线，所述阿基米德螺线分布在所述锥本体的锥面上形成导流槽，所述十字导流支架包括带孔底座和导流杆，所述阿基米德螺线导流锥安插于带孔底座上，所述带孔底座与导流杆连通，本发明采用阿基米德螺线导流和十字导流支架组合的方式，相比于其他模具，提高了沉积均匀性，既保证多路气体均匀混合又控制气体流场沿径向均匀分布，提高了沉积效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116752119A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310683067.9
申请日：2023-06-09
Abstract: 本发明提供了一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法，包括至少两个保温组件，所述保温组件之间连接形成环形结构；其中，所述保温组件包括第一保温块和第二保温块；第一保温块包括第一支撑部和突出于所述第一支撑部的第一凸起；第二保温块设置有与所述第一凸起匹配连接的第一凹陷。相比于现有技术，本发明提供的保温套件，通过上述结构进行叠加组装，克服了只能依靠人工操作手法来保证更换后保温层的质量问题，有效解决了目前化学气相沉积炉的保温材料更换繁琐且更换后易出现温度分布不均匀的问题，保证了产品质量的一致性。
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公开(公告)号：CN116531866A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310688701.8
申请日：2023-06-12
Abstract: 本发明提供了一种尾气处理系统和尾气处理方法，处理系统包括第一过滤器和与所述第一过滤器连通的第二过滤器，所述第一过滤器填充有吸附材料，所述第二过滤器设置有第一空气滤芯；待处理尾气经过所述第一过滤器处理后进入所述第二过滤器再处理。相比于常规的单级过滤处理，本发明的尾气处理系统采用至少两层过滤处理，可大大提高过滤效果，可使抽气泵至少稳定运行72小时不发生堵塞。
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公开(公告)号：CN221452112U
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202323312116.2
申请日：2023-12-05
Abstract: 本实用新型公开了一种含粉末尾气的处理装置，包括进气口、罐体、第一过滤系统、第二过滤系统和出气口，所述进气口和出气口设置于罐体上，所述第一过滤系统和第二过滤系统连通并设置于所述罐体内，所述进气口与第一过滤系统连通，所述出气口与第二过滤系统连通，含粉末尾气通过进气口再分别经第一过滤系统和第二过滤系统后从出气口排出。本实用新型采用高落差的双重过滤系统，大大提高了尾气过滤效果。
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公开(公告)号：CN220099173U
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202321468622.8
申请日：2023-06-09
Abstract: 本实用新型提供了一种带外接升降装置的CVD反应设备，包括反应室和与所述反应室连接的外接升降装置；所述外接升降装置包括可伸缩的伺服电缸；所述伺服电缸安装于所述反应室的底部，用于调控所述反应室的高度。本实用新型提供的CVD反应设备，其外部装接带有升降装置，通过该外接升降装置可调控反应室的升降，在装取样品时降低反应室的高度，不仅操作效率更高安全性也更好，同时能适应大尺寸材料的制备要求，有效解决了传统CVD反应室因高度较高导致装取样品难度大、无法适应大尺寸材料制备的问题。
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公开(公告)号：CN220335296U
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202321469044.X
申请日：2023-06-09
Abstract: 本实用新型提供了一种基于气相沉积法的尾气处理装置，包括至少一个处理腔体，所述处理腔体内安装有呈迷宫排布的若干挡板以使得尾气沿迷宫的出口路径方向进行移动，若干所述挡板表面铺设有吸附材料。相比于现有的处理装置，本实用新型提供的尾气处理装置，通过呈迷宫式的挡板结构，能有效延长尾气在处理腔体内的移动路径，解决了目前尾气处理方法不能有效吸附尾气的问题。
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