基于陶瓷基微热板的催化燃烧气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110658238A

    公开(公告)日:2020-01-07

    申请号:CN201810717264.7

    申请日:2018-06-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于陶瓷基微热板的催化燃烧气体传感器及其制备方法中,在硅基底的第一表面依次形成有陶瓷膜以及加热层,以形成陶瓷基微热板,陶瓷膜通过设定的陶瓷浆料烧结形成,加热层通过设定的导电浆料烧结而成,陶瓷膜以及加热层均有高温烧结工艺形成,具有较好的耐高温性能,故相对于通过低温工艺条件的物理气相沉积形成加热层的现有技术,经过高温烧结工艺形成的加热层具有更好的耐高温特性,可以提高稳定性和可靠性。可以通过调节陶瓷浆料的组成,可以调节陶瓷膜的热导率,避免散热较快的问题,从而降低加热功耗。通过对应浆料烧结形成陶瓷膜以及加热层的设备相对于的化学气相沉积以及物理气相沉积设备,设备成本较低,降低了制作成本。

    一种三维MEMS扫描镜
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111965811A

    公开(公告)日:2020-11-20

    申请号:CN202010946950.9

    申请日:2020-09-10

    Abstract: 本发明提供的三维MEMS扫描镜,应用于微机电系统技术领域,包括镜片和二维扫描机构,所述镜片包括镜片本体和电控形变层,电控形变层覆盖镜片本体上的预设区域,并且电控形变层的控制端与控制电源相连,根据接收的电流或电压,电控形变层可带动镜片本体产生离面位移。在实际使用中,通过控制电源输出不同的电流或电压,控制电控形变层带动镜片本体产生离面位移,进而改变镜面曲率,调整焦距,再辅之以二维扫描机构,实现三维扫描。因此,本发明提供的扫描镜镜片不依赖现有镜片结构中的空腔即可改变镜面曲率,降低镜片的加工难度和加工成本。

    一种复合材料性能的计算方法、装置及电子设备

    公开(公告)号:CN110765546A

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201810746948.X

    申请日:2018-07-09

    Abstract: 本发明提供一种复合材料性能的计算方法、装置及电子设备,关联算法模型是利用复合材料的真实性能数据以及复合材料包含的纤维的性能数据、复合材料包含的树脂的性能数据、复合材料包含的纤维与树脂的体积比例参数的训练数据进行预训练得到,训练数据未经过任何抽象、简化、近似、归一等操作,保留了每一种复合材料的真实性能,因此,关联算法模型输出的目标复合材料的性能数据的准确度较高,并且相比于现有技术中试验获取复合材料性能的方法,本发明提供的通过关联算法模型分析得到目标复合材料的性能数据的过程所需时间较短,缩短了目标复合材料的性能数据的计算周期,进一步提高了车身设计的速度。

    一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置

    公开(公告)号:CN110879466A

    公开(公告)日:2020-03-13

    申请号:CN201911224150.X

    申请日:2019-12-04

    Abstract: 本发明公开了一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置,包括可绕一扭转轴扭转的镜面,还包括偶数组梳齿驱动器,其中一半梳齿驱动器与另一半梳齿驱动器的位置关于镜面扭转轴对称,分别位于轴的两侧,所有梳齿驱动器均由固定梳齿和可动梳齿组成,其中可动梳齿与镜面直接相连或通过梁、杆等与镜面相连,所有梳齿驱动器中位于镜面扭转轴同一侧的一半为垂直梳齿驱动器,另一半为常规梳齿驱动器,扫描镜工作时所有的固定梳齿之间同电势,所有的可动梳齿之间同电势。本发明解决了现有技术需要2倍频驱动电源,且最大扫描角不稳定的问题。

    一种加热器结构及其制备方法、氢气传感器

    公开(公告)号:CN111278175A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201811482768.1

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 本申请公开了一种加热器结构及其制备方法、氢气传感器,其中,所述加热器结构的绝缘膜层中包括第二图案,且第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度,为形成在第二图案中的加热结构限定了形成区域,从而使得在利用丝网印刷工艺制备加热结构时,只需使形成加热结构的导电浆料印刷在第二图案中即可,不仅降低了加热结构的形成难度,而且提升了形成的加热结构的形状的精度,避免丝网印刷获得的加热结构比设计的图形大很多的情况出现,提升了所述加热器结构检测精度。

    一种激光扫描投影系统
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110876048A

    公开(公告)日:2020-03-10

    申请号:CN201911202845.8

    申请日:2019-11-29

    Abstract: 本申请公开了一种激光扫描投影系统,由于第一预设平面与所述第一单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直,因此扫描激光在入射到第一单轴MEMS振镜的反射面上形成第一反射激光时,第一反射激光不会由于第一单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲;同样的,由于第二预设平面与所述第二单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直,因此第二单轴MEMS振镜反射形成的扫描光束也不会由于第二单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲,从而使得最终形成在屏幕上的图像不会存在明显的不对称畸变,实现降低激光扫描投影系统投影图像的畸变的目的,避免了现有技术中的激光扫描投影系统投影的图像畸变明显且难以矫正的问题。

    一种MEMS扫描镜
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110501812A

    公开(公告)日:2019-11-26

    申请号:CN201910839155.7

    申请日:2019-09-05

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS扫描镜,包括:镜体;所述镜体的两侧均连接有能够弯曲的应力弯曲梁,所述应力弯曲梁沿厚度方向残余应力由顶层向底层缩小;可动梳齿,所述可动梳齿安装在所述应力弯曲梁的侧面;固定梳齿,所述固定梳齿一端固定布置,另一端与所述应力弯曲梁间隔布置;扭转梁,所述扭转梁一端与所述应力弯曲梁另一端相连,所述扭转梁另一端与固定件相连。利用加工工艺中的残余应力带来的应力不匹配,使应力弯曲梁翘曲变形而带动可动梳齿自发与固定梳齿产生高度差。残余应力在微纳加工工艺中是难以避免的,总是或多或少存在,因此,基于残余应力实现垂直梳齿不需要额外的加工手段,降低了成本,且具有自组装、自对准等优势。

    一种加热器结构及氢气传感器

    公开(公告)号:CN209806099U

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201822040465.6

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 本申请公开了一种加热器结构及氢气传感器,包括衬底,以及位于衬底第一表面中,且部分贯穿所述衬底的第一图案;覆盖所述衬底表面以及所述通孔的绝缘膜层,所述加热器结构的绝缘膜层中包括第二图案,且第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度,为形成在第二图案中的加热结构限定了形成区域,从而使得在利用丝网印刷工艺制备加热结构时,只需使形成加热结构的导电浆料印刷在第二图案中即可,不仅降低了加热结构的形成难度,而且提升了形成的加热结构的形状的精度,避免丝网印刷获得的加热结构比设计的图形大很多的情况出现,提升了所述加热器结构检测精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种传感器及其敏感探头
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209055512U

    公开(公告)日:2019-07-02

    申请号:CN201821577281.7

    申请日:2018-09-26

    Abstract: 本申请公开了一种敏感探头,包括:壳体;设置在所述壳体内,能够进行探测的探测组件;与所述探测组件连接并能够带动所述探测组件转动的连接件,且所述连接件的至少一端伸出至所述壳体之外。上述的敏感探头,令设置在壳体内的探测组件与连接件连接,由于连接件能够带动探测组件进行转动,且连接件的一端位于壳体之外,所以通过在壳体外转动连接件,就能够实现壳体内探测组件的转动,从而使得敏感探头在非水平布置的情况下,也能够通过转动连接件令探测组件水平布置,使得探测精度得以提高。本申请还提供了具有上述敏感探头的一种传感器。

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