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公开(公告)号：CN114730127B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202080076960.X
申请日：2020-11-10
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明的课题在于提供能够形成图案加工性及耐压性优异、并且可靠性高的绝缘膜、可应用于要求高弹性模量及高分辨率的基板用途等的树脂组合物，其为含有(A)聚合物、(B)玻璃填料、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引发剂、及(E)热交联剂的感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物中，上述(B)玻璃填料含有选自由氧化硅、氧化铝及氧化硼组成的组中的至少两种，并且还含有稀土类氧化物。
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公开(公告)号：CN110419001B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201880018680.6
申请日：2018-03-12
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 作为本发明的一方案的感光性树脂组合物含有碱溶性聚酰亚胺(a)、含有不饱和键的化合物(b)、热交联性化合物(c)以及光聚合引发剂(d)，上述光聚合引发剂具有下述通式(1)所表示的结构。该感光性树脂组合物和由其制成的感光性树脂组合物膜用于绝缘膜、电子部件。(通式(1)中，R1～R3分别独立地表示卤素原子、羟基、羧基、硝基、氰基、‑NR13R14、碳原子数1～20的1价烃基、碳原子数1～20的酰基或碳原子数1～20的烷氧基。R13和R14分别独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烷基。R15表示碳原子数1～5的烷基。a表示0～5的整数，b表示0～4的整数。A表示CO或直接键合。)
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公开(公告)号：CN110419001A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201880018680.6
申请日：2018-03-12
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 作为本发明的一方案的感光性树脂组合物含有碱溶性聚酰亚胺(a)、含有不饱和键的化合物(b)、热交联性化合物(c)以及光聚合引发剂(d)，上述光聚合引发剂具有下述通式(1)所表示的结构。该感光性树脂组合物和由其制成的感光性树脂组合物膜用于绝缘膜、电子部件。(通式(1)中，R1～R3分别独立地表示卤素原子、羟基、羧基、硝基、氰基、-NR13R14、碳原子数1～20的1价烃基、碳原子数1～20的酰基或碳原子数1～20的烷氧基。R13和R14分别独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烷基。R15表示碳原子数1～5的烷基。a表示0～5的整数，b表示0～4的整数。A表示CO或直接键合。)
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公开(公告)号：CN114730127A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080076960.X
申请日：2020-11-10
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明的课题在于提供能够形成图案加工性及耐压性优异、并且可靠性高的绝缘膜、可应用于要求高弹性模量及高分辨率的基板用途等的树脂组合物，其为含有(A)聚合物、(B)玻璃填料、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引发剂、及(E)热交联剂的感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物中，上述(B)玻璃填料含有选自由氧化硅、氧化铝及氧化硼组成的组中的至少两种，并且还含有稀土类氧化物。
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公开(公告)号：CN107407871B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201680016844.2
申请日：2016-03-15
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供下述感光性树脂组合物，其能够形成高分辨率、曝光容限宽、截面形状为矩形的图案，且能够形成具有优异的耐热性的膜，所述感光性树脂组合物的特征在于，含有：(a)在主链末端具有选自由羧基、酚式羟基、磺酸基及巯基组成的组中的至少一种基团的聚酰亚胺；(b)单体；(c)热交联性化合物；(d)光聚合引发剂；以及(e)阻聚剂，其中，(e)阻聚剂为在具有萘骨架或蒽骨架的化合物的萘骨架或蒽骨架上加成有至少一个羟基、烷氧基、芳基氧基或芳烷基氧基的化合物。
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公开(公告)号：CN107407871A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680016844.2
申请日：2016-03-15
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/037 , C08G73/1025 , G03F7/004 , H05K3/46
Abstract: 本发明提供下述感光性树脂组合物，其能够形成高分辨率、曝光容限宽、截面形状为矩形的图案，且能够形成具有优异的耐热性的膜，所述感光性树脂组合物的特征在于，含有：(a)在主链末端具有选自由羧基、酚式羟基、磺酸基及巯基组成的组中的至少一种基团的聚酰亚胺；(b)单体；(c)热交联性化合物；(d)光聚合引发剂；以及(e)阻聚剂，其中，(e)阻聚剂为在具有萘骨架或蒽骨架的化合物的萘骨架或蒽骨架上加成有至少一个羟基、烷氧基、芳基氧基或芳烷基氧基的化合物。
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公开(公告)号：CN118946851A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202380028666.5
申请日：2023-03-13
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供具有优异的图案加工性、固化物的耐压性(弹性模量)优异的感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物含有(A)聚酰亚胺、(B)阳离子聚合性化合物、(C)光阳离子聚合引发剂及(D)结晶性二氧化硅，且具有负型感光性。
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公开(公告)号：CN113646882A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080024580.1
申请日：2020-03-18
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物为含有碱溶性聚酰亚胺(a)、含有不饱和键的化合物(b)、热交联性化合物(c)、具有下述通式(1)所示的结构并且具有光漂白性的光聚合引发剂(d‑1)、和具有下述通式(1)所示的结构并且波长405nm下的摩尔吸光系数为1000L/(mol·cm)以上的光聚合引发剂(d‑2)的感光性树脂组合物。(在通式(1)中，R1表示卤原子、羟基、羧基、硝基、氰基、‑NR3R4、碳原子数1～20的1价烃基、碳原子数1～20的酰基或碳原子数1～20的烷氧基，R3和R4各自独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烷基。其中，烃基、酰基和烷氧基的氢原子的至少一部分可以被卤原子、羟基、羧基、硝基、氰基或‑NR3R4取代，烃基中、酰基中和烷氧基中的烃基可以被醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断。R2表示碳原子数1～5的烷基。式中的＊是指在＊部分与相邻的基团结合。)进一步，本发明的感光性树脂组合物为含有碱溶性聚酰亚胺(a)、含有不饱和键的化合物(b)、热交联性化合物(c)、2种以上肟酯系光聚合引发剂(d)的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物可以将中空结构体的盖部分高灵敏度并且良好地通过光刻进行图案形成。使用了本发明的感光性树脂组合物的感光性树脂片在具有中空结构体的电子部件的中空结构体的盖用途中是有用的。
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