公开(公告)号：CN107315242A

公开(公告)日：2017-11-03

申请号：CN201710621058.1

申请日：2017-07-27

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  周鹏飞 ,  刘炜华

IPC: G02B21/08 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/08 ,  G02B21/082 ,  G02B21/362

Abstract: 本发明涉及一种同轴光显微成像系统，包括摄像装置、分光棱镜、物镜以及同轴光源，摄像装置、分光棱镜和物镜位于同一光轴上，同轴光源和分光棱镜位于同一光轴上，同轴光源与摄像装置的光轴相互垂直。本发明成像系统还设有连接筒，摄像装置、分光棱镜以及物镜连接在连接筒上，同轴光源从连接筒的侧壁入射到分光棱镜上。本发明的同轴光源入射到分光棱镜上再垂直打在样品上形成很小的光斑，可直观观测到摄像装置焦点的精确位置，有助于微小样品在精调平台上的初步精确定位，可提供更佳的拍摄效果。本发明成像系统利用相机液晶屏或电脑显示器作为数码目镜，代替了传统的光学目镜。使取景更加清晰明亮，即时取景，观察更加方便。

公开(公告)号：CN109029290A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201810919202.4

申请日：2018-08-14

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  刘炜华 ,  周鹏飞

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/24

Abstract: 本发明的一种同轴光路三维显微形貌测量系统，包括：成像物镜、干涉装置和图像采集装置。干涉装置包括激光光源、分光棱镜、第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜和参考物镜。激光光束经第一反光镜射入分光棱镜后输出两束光，第一束光经成像物镜照射到样品上，反射光经成像物镜、分光棱镜到达图像采集装置形成物光；第二束光经第二反光镜、参考物镜射入第三反光镜，反射光经参考物镜、第二反光镜和分光棱镜反射到图像采集装置形成参考光，物光和参考光平行以形成同轴干涉，改变参考光光程，利用图像采集装置记录多幅相移全息图。本发明通过光路设计克服了传统预放大显微全息光路光波曲率难以调节的困难。并且整个系统结构紧凑，抗噪能力提高。

公开(公告)号：CN109029289A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201810919196.2

申请日：2018-08-14

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  周鹏飞 ,  刘炜华

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/24

Abstract: 本发明的一种离轴光路三维显微形貌测量系统，包括：成像物镜、干涉装置和图像采集装置。干涉装置包括激光光源、分光棱镜、第一反光镜、第二反光镜、微调反光镜和参考物镜。激光光束经第一反光镜射入分光棱镜后输出两束光，第一束光经成像物镜射到样品上，反射光经成像物镜、分光棱镜到达图像采集装置形成物光；第二束光经第二反光镜、参考物镜射入微调反光镜，反射光经参考物镜、第二反光镜和分光棱镜反射到图像采集装置形成参考光，物光和参考光间形成1.52°～7.57°的离轴角以形成离轴干涉，利用图像采集装置记录得到的干涉全息图。本发明通过光路设计克服了传统预放大显微全息光路光波曲率难以调节的困难。整个系统结构紧凑，抗噪能力高。