一种细晶镝靶材制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117983815A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202410063177.X

    申请日:2024-01-17

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开了一种细晶镝靶材制备方法,属于靶材技术领域。其技术要点是:首先采用旋转电极雾化制备镝粉末,筛选出粒径小于100目的粉末,然后将粉末震动装入合金包套中,包套材料为304不锈钢,包套壁厚1.5~3mm,对包套焊缝后使用热等静压烧结成形,热等静压采用同时升温升压、同时降温降压,最后机械加工去除表面包套得到平面圆靶材。本发明提供的一种细晶镝靶材制备方法,靶材具有均匀性好、晶粒细小、致密度高、表面质量高等优点。

Patent Agency Ranking