公开(公告)号：CN102738296A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210104811.7

申请日：2012-04-06

Applicant: 株式会社日立国际电气 ,  东华隆株式会社

Inventor： 西谷英辅 ,  国井泰夫 ,  丰田一行 ,  桧山耕作 ,  中筋智博 ,  滨口龙哉 ,  宫岛生欣

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/032 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67754 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种衬底处理装置，所述衬底处理装置用于形成CIS类太阳能电池的光吸收层，进行硒化或硫化处理，其中，具有与石英制腔室相比易于加工的炉体，另外提供一种易于处置的腔室。所述衬底处理装置具有：处理室，容纳有多个衬底，所述衬底形成有由铜-铟、铜-镓或铜-铟-镓中的任一种形成的层合膜；反应管，以构成处理室的方式形成；气体供给管，向处理室中导入含硒元素气体或含硫元素气体；排气管，将处理室内的气体排出；及加热部，以包围上述反应管方式设置，其中，反应管的基材由不锈钢等金属材料形成，反应管的表面形成有多孔状涂膜，所述多孔状涂膜以氧化铬及氧化硅的混合物作为主要成分、且具有5％至15％的空隙率。

公开(公告)号：CN118974320A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380030703.6

申请日：2023-03-31

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 栗栖泰 ,  中筋智博 ,  水津龙夫

IPC: C23C28/00 ,  C21D1/00 ,  C21D9/56 ,  C23C2/00 ,  C23C4/18 ,  C23C26/00

Abstract: [课题]更容易防止异物在钢板的输送用辊表面上的附着。[解决方案]本发明的钢板的输送用辊具有位于输送用辊基材的表面的喷镀覆膜和位于喷镀覆膜的表面的可磨耗覆膜，可磨耗覆膜含有聚硅氧烷以及分散于该聚硅氧烷中的氧化锆颗粒、氮化硼颗粒和胶体颗粒。