公开(公告)号：CN113853513B

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN202080037185.7

申请日：2020-05-19

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 川村隆太郎 ,  田口研良

IPC: G01K7/18 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的温度调节单元(1)包括：温度调节单元本体(2)；温度调节部(3)，其设置在温度调节单元本体(2)的内部，对温度调节对象(100)所在侧的该温度调节单元本体(2)的表面温度进行升降温；以及薄膜测温电阻部(4)，其形成在温度调节单元本体(2)的内部、温度调节对象(100)所在侧的面内的一定范围内，并且设置在比温度调节部(3)更靠近温度调节对象(100)的一侧，由热喷涂皮膜形成。该温度调节单元可以准确地测定温度调节面内的平均温度。

公开(公告)号：CN116547784A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202180083075.9

申请日：2021-11-18

Applicant: 东华隆株式会社 ,  福吉米株式会社

Inventor： 盐尻泰广 ,  水津竜夫 ,  田口研良 ,  水野宏昭 ,  益田敬也

IPC: H01L21/3065

Abstract: 提供一种耐等离子体侵蚀性优异、能够长期保护等离子体蚀刻装置的构件不受等离子体侵蚀的影响、有助于设备的稳定生产、构件的长寿命化的喷镀覆膜。作为本发明的一个方式的喷镀材料由复合化物形成，所述复合化物以40mol％以上且80mol％以下的比例包含稀土氟化物，以10mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化镁，以0mol％以上且40mol％以下的比例包含氟化钙。

公开(公告)号：CN109315021A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780036285.6

申请日：2017-06-02

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 虻川志向 ,  田口研良 ,  森山彻 ,  佐藤靖洋 ,  熊谷章 ,  浅木森游

IPC: H05B3/14 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74

Abstract: 本发明提供一种即使在高温下长时间反复使用，体积电阻率也难变化的发热部件。发热部件(11)通过由含有TixOy(其中，满足0

公开(公告)号：CN113853513A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202080037185.7

申请日：2020-05-19

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 川村隆太郎 ,  田口研良

IPC: G01K7/18 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的温度调节单元(1)包括：温度调节单元本体(2)；温度调节部(3)，其设置在温度调节单元本体(2)的内部，对温度调节对象(100)所在侧的该温度调节单元本体(2)的表面温度进行升降温；以及薄膜测温电阻部(4)，其形成在温度调节单元本体(2)的内部、温度调节对象(100)所在侧的面内的一定范围内，并且设置在比温度调节部(3)更靠近温度调节对象(100)的一侧，由热喷涂皮膜形成。该温度调节单元可以准确地测定温度调节面内的平均温度。

公开(公告)号：CN111357096A

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201880074361.7

申请日：2018-10-29

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 虻川志向 ,  田口研良 ,  浅木森游 ,  川村隆太郎

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/02 ,  H05B3/20 ,  H05B3/72

Abstract: 本发明提供一种能够提高加热器区域内的温度均匀性、并且可以维持耐久性的发热部件。发热部件(1)包括基材部(2)、以及设置在该基材部(2)的外部且通过供电而发热的薄膜加热器(4)。薄膜加热器(4)由热喷涂皮膜形成。薄膜加热器(4)具有配设在基材部(2)的第一端面(2a)上的加热器本体(10)、以及从加热器本体(10)通过基材部(2)的侧面(2c)延设至基材部(2)的第二端面的加热器延设部(11)，加热器延设部(11)的前端部分(11s)是向加热器本体(10)供电的加热器供电部(12)。

公开(公告)号：CN104272450B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201380023475.6

申请日：2013-03-22

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 山崎良 ,  稻叶光晴 ,  田口研良

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  C23C4/01 ,  C23C4/11 ,  C23C4/12 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明提供一种静电夹具和静电夹具的制造方法，其不存在采用粘接剂的场合的缺陷，并且设计自由度高。一种静电夹具(1)，包括：基材部(2)，其构成夹具主体；第1绝缘层(3)，其由形成于基材部(2)的表面(2a)上的喷镀覆膜构成；加热部(4)，其由导电体构成，该导电体通过涂敷导电性糊的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上；第2绝缘层(5)，其由按照覆盖加热部(4)的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上的喷镀覆膜构成；电极部(6)，其通过喷镀于第2绝缘层(5)的表面(5a)上形成；以及电介体层(7)，其由按照覆盖电极部(6)的方式形成于第2绝缘层(5)的表面(5a)上的喷镀覆膜构成，该静电夹具(1)不采用粘接剂，降低了加热部(4)的体积电阻率。

公开(公告)号：CN104272450A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380023475.6

申请日：2013-03-22

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 山崎良 ,  稻叶光晴 ,  田口研良

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  C23C4/01 ,  C23C4/11 ,  C23C4/12 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明提供一种静电夹具和静电夹具的制造方法，其不存在采用粘接剂的场合的缺陷，并且设计自由度高。一种静电夹具(1)，包括：基材部(2)，其构成夹具主体；第1绝缘层(3)，其由形成于基材部(2)的表面(2a)上的喷镀覆膜构成；加热部(4)，其由导电体构成，该导电体通过涂敷导电性糊的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上；第2绝缘层(5)，其由按照覆盖加热部(4)的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上的喷镀覆膜构成；电极部(6)，其通过喷镀于第2绝缘层(5)的表面(5a)上形成；以及电介体层(7)，其由按照覆盖电极部(6)的方式形成于第2绝缘层(5)的表面(5a)上的喷镀覆膜构成，该静电夹具(1)不采用粘接剂，降低了加热部(4)的体积电阻率。