公开(公告)号：CN107849677B

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201680042893.3

申请日：2016-06-27

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 横田博纪 ,  福士达也 ,  水津龙夫

IPC: C23C4/18 ,  C23C4/12 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明提供一种表面改性部件的制造方法，该制造方法包括：在基材上形成喷涂覆膜的工序；对喷涂覆膜的表面照射高能束，使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分基材熔融、凝固，形成致密化的改性层的工序；在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序；以及对喷涂覆膜的表面照射高能束，使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分最新形成的改性层熔融、凝固，形成致密化的改性层的工序。

公开(公告)号：CN107849677A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680042893.3

申请日：2016-06-27

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 横田博纪 ,  福士达也 ,  水津龙夫

IPC: C23C4/18 ,  C23C4/12 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明提供一种表面改性部件的制造方法，该制造方法包括：在基材上形成喷涂覆膜的工序；对喷涂覆膜的表面照射高能束，使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分基材熔融、凝固，形成致密化的改性层的工序；在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序；以及对喷涂覆膜的表面照射高能束，使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分最新形成的改性层熔融、凝固，形成致密化的改性层的工序。