公开(公告)号：CN115567025A

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN202211287702.3

申请日：2022-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 王红亮 ,  秦振杰 ,  何常德 ,  刘文怡 ,  熊继军 ,  张鹏 ,  曹刚 ,  张胜阔 ,  张峰 ,  朱佳俊

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/10 ,  H03H9/64

Abstract: 本发明涉及滤波领域的层状结构，具体为一种多层结构无杂散响应SH型声表面波滤波器及制备方法。解决了现有声表面波滤波器工作频率较低、通带较窄、温度稳定性较差和存在杂散谐波等问题。一种多层结构无杂散响应SH型声表面波滤波器，包括多层异质晶圆衬底以及分布在衬底上方的多组金属叉指换能器；所述多层异质晶圆衬底包括自上而下叠压的LiTaO3压电层、SiO2薄膜和SiC衬底；其中LiTaO3压电层与SiO2薄膜的厚度均为0.4λ，λ为声表面波滤波器的波长；每组金属叉指换能器、反射栅及其下方的多层异质晶圆衬底组成一个谐振器，多个谐振器采用级联型梯形结构连接在一起，构成滤波器芯片。