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公开(公告)号：CN119290243A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411418441.3
申请日：2024-10-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种微型电容式压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域，该传感器由上至下依次包括：上电极金属层、单晶硅薄膜层、真空腔体、二氧化硅绝缘层、单晶硅衬底、下电极金属层；其中，真空腔体为单晶硅薄膜层与二氧化硅绝缘层键合在一起形成的凹弧形密闭空腔；该结构极大的提高了微型电容式压力传感器的线性度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN112362120B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202011243030.7
申请日：2020-11-12
Applicant: 中北大学
IPC: G01F1/667
Abstract: 本发明公开一种流量检测器及流量检测方法，流量检测器，包括两个面阵子探头和控制模块，两个面阵子探头可以分别作为超声波的发射端和接收端；控制模块至少包括两个收发控制电路以及计算控制子模块；计算控制子模块通过一个收发控制电路控制对应的一个面阵子探头发射超声波信号；当另一个面阵子探头接收到超声波信号后，通过另一个收发控制电路将接收到超声波信号的信息反馈给计算控制子模块进行计算处理。本发明利用面阵探头上不同行的阵元分别检测流体的横截面中不同分层的流量信息以求平均值的方式得到被测流体的整体流量信息，这种检测结果更接近流体的真实情况，可以大大降低流量检测的误差。
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公开(公告)号：CN117190840A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311018517.9
申请日：2023-08-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于大型机械设备结构和强度分析技术领域，解决了现有的应变信号采集系统能够支持的采集通道较少、采集精度略低，且通用性较差的问题。提供了一种基于大型机械设备的应变信号采集系统和优化方法，桥路接口电路与应变片式传感器组成惠斯通电桥，惠斯通电桥将应变产生的电阻变化转换为差分电压信号，依次经信号调理电路进行放大滤波、信号转换电路进行模数信号转换，输出至嵌入式控制模块处理分析并将测量结果显示在上位机处；应变信号采集模块分为多组应变信号采集单元，每组应变信号采集单元连接有多路应变片式传感器。本发明可实现应变信号与差分信号的测量，通道可扩展、采集范围广且精度高，可广泛应用于应变信号采集领域。
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公开(公告)号：CN114271854A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111598721.3
申请日：2021-12-24
Applicant: 中北大学 , 太原市华纳方盛科技有限公司
IPC: A61B8/00 , H01L23/528 , H01L23/538 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开一种超声换能器阵列及其制备方法，其中的超声换能器阵列自下而上依次包括：半导体衬底、第一绝缘层、孤立的岛形半导体层、第二绝缘层和金属图案化层，金属图案化层包括图案化上电极、第一焊盘和第二焊盘；相邻的岛形半导体层由隔离槽分隔，每个岛形半导体层上表面形成有多个凹槽群，所有岛形半导体层上的凹槽群按行列排布；每个凹槽群中的多个凹槽按行列排布；第二绝缘层覆盖隔离槽和凹槽，以在岛形半导体层中形成密封空腔；图案化上电极与凹槽一一对应；每个岛形半导体层相同位置的凹槽群形成凹槽群组，凹槽群组中所有的图案化上电极按行列通过连线连接在一起，并与位于第二绝缘层边缘的第二焊盘电连接；第一焊盘穿过第二绝缘层与岛形半导体层边缘欧姆接触。
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公开(公告)号：CN114242890A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111536451.3
申请日：2021-12-16
Applicant: 中北大学 , 太原市华纳方盛科技有限公司
IPC: H01L49/02
Abstract: 本发明公开一种超声换能器单元、超声换能器阵列及其制备方法，涉及电容式微机械超声换能技术领域，该超声换能器阵列中的超声换能器单元包括：相互键合的上基板和下基板，上基板由下至上依次包括第一器件层、第一绝缘层和至少一个图案化的上电极；下基板为SOI基板，由下至上依次包括下电极、第二绝缘层、第二衬底、第三绝缘层和孤立的岛形第二器件层；岛形第二器件层上表面形成有至少一个凹槽，凹槽及岛形第二器件层的上表面覆盖有第四绝缘层；岛形第二器件层下方的第三绝缘层和第二衬底中形成有通孔，第二绝缘层覆盖第二衬底下表面及通孔的侧壁，下电极覆盖通孔。本发明可有效提高超声换能器阵列的灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113751297A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202111058690.2
申请日：2021-09-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于硅波导管共晶键合技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法，属于MEMS技术领域。该换能器由SOI片和氧化片通过共晶键合技术制备而成，包括沉积在SOI片器件层的金属上电极、氧化片的氧化层图形化空腔结构后沉积金属下电极，SOI片器件层和氧化片金属图形化面共晶键合形成密封真空电容腔，SOI片衬底层刻蚀有硅波导管。本发明换能器设计了集成硅波导管结构，上下电极在同侧引出，具有发射超声波束能量集中，改善了CMUT的方向性，能抑制阵元间的串扰等优点。
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公开(公告)号：CN112073017A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010743183.1
申请日：2020-07-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于滤波领域的换能装置，具体是一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法。包括封装外壳，所述的封装外壳内部设有粘连芯片的基座，基座上侧固定有芯片，所述的芯片以压电基片为衬底，压电基片下侧设置有用于与基座固定的粘结层，压电基片上设置层状金属叉指换能器，层状金属叉指换能器上制备有温度补偿薄膜，所述的层状金属叉指换能器为若干个单端谐振器组成梯形结构的双端器件，所述的封装外壳的外部引脚通过金线和芯片上预留的信号引出部分形成电气连接，所述的芯片和封装壳体之间设置有用于密封的惰性气体。
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公开(公告)号：CN109342460A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811058050.X
申请日：2018-09-11
Applicant: 中北大学
IPC: G01N23/00
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，提出了一种裂缝检测和监测的无线无源传感器及其制备方法，该传感器包括接地板、介质层和辐射贴片，所述接地板和辐射贴片为导电金属制成，所述介质层的材料为低温共烧陶瓷，所述介质层位于所述接地板上方，所述辐射贴片为矩形且位于所述介质层上方，并与所述接地板之间形成谐振腔。本发明既能检测裂缝存在而且能对裂缝的宽度进行量化表征，可以应用到高温、高压、高旋转、高负载的恶劣环境下，如航天发动机涡轮叶片领域。
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公开(公告)号：CN107168644B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201710217506.1
申请日：2017-04-05
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及数据记录领域，提出了一种基于SFP光纤接口的高速大容量宽带I/Q数据记录仪，包括数据记录控制模块、嵌入式计算机主板、固态硬盘存储模块、触摸显示器和电源管理模块，所述数据记录控制模块包括触发管理单元、主控单元、光纤数据接收单元、DDR3数据缓存单元、PCI‑E接口控制单元；所述触发管理单元的输入端与数字信号接收机连接，输出端与主控单元连接，所述主控单元与光纤数据接收单元连接，所述光纤数据接收单元包括多个SFP光纤接口模块，所述PCI‑E接口控制单元通过PCI‑E接口与所述固态硬盘存储模块以及嵌入式计算机主板连接；本发明可以实现数据的高速传输和记录，可以广泛应用于广播、移动通信、航空航天与国防及汽车产业等领域。
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公开(公告)号：CN105472630B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201510915391.4
申请日：2015-12-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种基于三角形判别的无线传感器网络边缘节点识别方法，将当前节点RN的1跳邻居节点和2跳邻居节点按绝对角大小排序，选出合适的A、B、C点，通过判断SΔABC、SΔRNAB、SΔRNBC和SΔRNAC的关系来确定RN是否为边缘节点。本发明实现了基于节点地理位置信息和基于基于节点距离信息的无线传感器网络的网络边缘和覆盖空洞的边缘节点识别，以一种自适应可变换的方式扩展了无线传感器网络边界节点识别，算法复杂度低，节省了运行时间，仅需2跳邻居节点信息技能完成对边缘节点的精确识别，识别精度达到90％以上。
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