公开(公告)号：CN114955980B

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202210612658.2

申请日：2022-06-01

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  郝晓剑 ,  程丽霞 ,  史鹏程 ,  张文栋 ,  张国军 ,  崔建功 ,  杨玉华 ,  何常德

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  A61B7/02

Abstract: 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器，属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成，硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区，合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层，经过浓硼扩散后形成欧姆接触区，刻蚀顶层硅后形成压阻区，溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区，刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构，钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构，最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度，同时由于柔性基底PDMS，增加了传感器的适应性和便捷性。

公开(公告)号：CN108975266A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810784683.2

申请日：2018-07-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  白建新 ,  程丽霞 ,  张国军 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  A61B5/0408

Abstract: 本发明为一种基于针尖阵列结构的石墨烯-PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法，包括顶面为针尖阵列结构设计的石墨烯-PDMS柔性导电衬底，针尖阵列结构上沉积有聚对二甲苯薄膜，聚对二甲苯薄膜上溅射有金属种子层，金属种子层上溅射有金属层；石墨烯-PDMS柔性导电衬底的底面上涂覆有导电银胶层。本发明的工艺步骤简单、成本较低、通过模具的制作有利于批量化生产。本发明制备用到的材料如导电银胶、PDMS、石墨烯、聚对二甲苯薄膜以及溅射的金属钛和金都在生物兼容性方面表现良好，能有效抑菌并减少对皮肤的刺激。本发明设计的针尖阵列结构有较大的接触面积，与皮肤直接接触可穿过角质层，能有效降低皮肤-电极的接触阻抗，从而获得稳定的心电信号。

公开(公告)号：CN114955980A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210612658.2

申请日：2022-06-01

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  郝晓剑 ,  程丽霞 ,  史鹏程 ,  张文栋 ,  张国军 ,  崔建功 ,  杨玉华 ,  何常德

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  A61B7/02

Abstract: 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器，属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成，硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区，合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层，经过浓硼扩散后形成欧姆接触区，刻蚀顶层硅后形成压阻区，溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区，刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构，钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构，最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度，同时由于柔性基底PDMS，增加了传感器的适应性和便捷性。

公开(公告)号：CN108975266B

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201810784683.2

申请日：2018-07-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  白建新 ,  程丽霞 ,  张国军 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  A61B5/0408

Abstract: 本发明为一种基于针尖阵列结构的石墨烯‑PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法，包括顶面为针尖阵列结构设计的石墨烯‑PDMS柔性导电衬底，针尖阵列结构上沉积有聚对二甲苯薄膜，聚对二甲苯薄膜上溅射有金属种子层，金属种子层上溅射有金属层；石墨烯‑PDMS柔性导电衬底的底面上涂覆有导电银胶层。本发明的工艺步骤简单、成本较低、通过模具的制作有利于批量化生产。本发明制备用到的材料如导电银胶、PDMS、石墨烯、聚对二甲苯薄膜以及溅射的金属钛和金都在生物兼容性方面表现良好，能有效抑菌并减少对皮肤的刺激。本发明设计的针尖阵列结构有较大的接触面积，与皮肤直接接触可穿过角质层，能有效降低皮肤‑电极的接触阻抗，从而获得稳定的心电信号。