公开(公告)号：CN101858745A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201010210155.X

申请日：2010-06-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  吉喆 ,  刘正 ,  赵敏 ,  李杰 ,  贾鹏飞

IPC: G01C19/56 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明涉及基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺，包括垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器、输入光栅、输出光栅、环形谐振腔、输入和输出光波导、分光隔离器；所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层，利用硅基与III-V族化合物半导体基芯片间的键合技术形成；所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层，应用键合技术键合到InGaAs等探测物质的有源区上；其特点是所述环形谐振腔为圆环形形状，所述输入光栅，通过分光隔离器，输入和输出光波导与环形谐振腔，输出光栅集成一体。本发明基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺主要应用在外部角速度的测量，可应用于小卫星甚至微型卫星中。

公开(公告)号：CN101871950A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN201010210072.0

申请日：2010-06-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  吉喆 ,  刘正 ,  赵敏 ,  李杰 ,  贾鹏飞

IPC: G01P15/03 ,  G02B6/34

Abstract: 本发明涉及基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔、悬臂梁、基底、质量块、输入光栅、输出光栅、输入光波导和输出光波导；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，光学谐振腔被刻蚀在悬臂梁的上表面，光学谐振腔为平面跑道形的形状；其特点是该光学谐振腔微加速度计由上而下有三层结构，光学谐振腔是集成输入输出端的，光学输入口与输出口通过光栅结构与光学谐振腔集成一体；输入光波导与输出光波导与光学谐振腔成也为一体；本发明是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境中的振动，冲击等加速度的测量。