公开(公告)号：CN112018221B

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202010953229.2

申请日：2020-09-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 汪炼成 ,  高祥 ,  徐意 ,  胡泽林

IPC: H01L33/46 ,  H01L33/44

Abstract: 本发明公开了一种面向3D显示的出射圆偏振光垂直结构微腔Micro‑LED及其制备方法，本发明这种微腔Micro‑LED可以出射圆偏偏振光，采用圆偏振光进行3D偏光显示，只要设置好圆偏振眼镜的光轴位置就可以消除由于眼镜倾斜带来的图案的串扰问题。本发明通过减薄芯片厚度，并通过导电层上的光栅和n‑GaN层上的介质膜反射镜作为谐振腔端面，形成垂直方向的谐振微腔结构，将抑制侧壁出光，提高正面出光方向性。同时谐振微腔结构将选择特定波长，使其发光光谱变窄，光谱纯度更高，这将有利于提高Micro‑LED显示的阈值。并且光栅有偏振选择出光性，经过此结构出射光为线偏振光。顶部集成微纳结构，相当于1/4波片，将线偏振光转换为圆偏振光。

公开(公告)号：CN112038458A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN202010953224.X

申请日：2020-09-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 汪炼成 ,  胡泽林 ,  徐意 ,  高祥

IPC: H01L33/10 ,  H01L33/44 ,  H01L33/58 ,  G02B30/26

Abstract: 本发明公开了一种偏光微结构Micro-LED及其在裸眼3D显示系统中的应用，其结构由下到上包括金属衬底、导电层、氮化物层一、多量子阱有源区层、氮化物层二、氧化物DBR、表面偏光微结构。本发明的偏光微结构Micro-LED不需要借助光栅，实现裸眼3D显示。利用LED由于其自发辐射性，其发光不具有相干性。通过减薄芯片厚度，并通过金属衬底和氮化物层二上的氧化物DBR反射镜作为谐振腔端面，形成垂直方向的谐振微腔结构，使其发光光谱变窄，且将抑制侧壁出光，提高正面出光方向性。同时顶部集成微纳结构，具有改变光束相位功能，将未偏转角度的光波前转换为斜射一定角度的光波前，实现出射光角度的改变，进而实现裸眼3D显示。

公开(公告)号：CN111725368A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010613174.0

申请日：2020-06-30

Applicant: 中南大学

Inventor： 汪炼成 ,  高祥 ,  万荣桥 ,  徐意

IPC: H01L33/10 ,  H01L33/06 ,  H01L33/32 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种基于电镀技术的GaN基垂直结构微腔Micro-LED及其制备方法，本发明这种微腔Micro-LED发光半高宽窄，发光方向性好；通过减薄芯片厚度，并通过p-GaN层(5)的金属反射镜和n-GaN层的介质膜反射镜作为谐振腔端面，形成垂直方向的谐振微腔结构，将抑制侧壁出光，提高正面出光方向性，从而减小Micro-LED显示相邻像素之间的串扰效应。同时谐振微腔结构将选择特定波长，使其发光光谱变窄，光谱纯度更高，这将有利于提高Micro-LED显示的阈值，本发明垂直结构Micro-LED有源区面积大，n-GaN吸光较少；电流扩展较好，电压较低，电流密度较小，在光效，饱和电流，长期可靠性方面具有优势；其次Cu衬底具有良好的导电性和导热性，芯片热阻较小。

公开(公告)号：CN111725367A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010611853.4

申请日：2020-06-30

Applicant: 中南大学

Inventor： 汪炼成 ,  龙林云 ,  高祥 ,  万荣桥 ,  徐意

IPC: H01L33/10 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种垂直结构氮化物RC LED及其制备方法，由下到上包括导电衬底、氮化物DBR1、氮化物层1、多量子阱有源区层、氮化物层2、透明导电插入层、氮化物DBR2，所述导电衬底和氮化物DBR2上均设有金属电极。本发明中的氮化物DBR1和氮化物DBR2是利用磁控溅射制备的材料，其晶体结构是多晶甚至非晶的，因此可以减少应力和应力累计。本发明中氮化物DBR1和氮化物DBR2由AlxIn1-xN层和AlyIn1-yN层周期循环交替组合，可以根据DBR目标反射波长，调节AlyIn1-yN/AlxIn1-xDBR中Al成分，最大程度的减少对DBR目标反射波长光的吸收。本发明中导电Si衬底上制备导电AlyIn1-yN/AlxIn1-xN DBR中引入了掺杂元素，可以制备垂直电流注入型RC LED，提高RC LED性能。

公开(公告)号：CN112018221A

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN202010953229.2

申请日：2020-09-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 汪炼成 ,  高祥 ,  徐意 ,  胡泽林

IPC: H01L33/46 ,  H01L33/44

Abstract: 本发明公开了一种面向3D显示的出射圆偏振光垂直结构微腔Micro-LED及其制备方法，本发明这种微腔Micro-LED可以出射圆偏偏振光，采用圆偏振光进行3D偏光显示，只要设置好圆偏振眼镜的光轴位置就可以消除由于眼镜倾斜带来的图案的串扰问题。本发明通过减薄芯片厚度，并通过导电层上的光栅和n-GaN层上的介质膜反射镜作为谐振腔端面，形成垂直方向的谐振微腔结构，将抑制侧壁出光，提高正面出光方向性。同时谐振微腔结构将选择特定波长，使其发光光谱变窄，光谱纯度更高，这将有利于提高Micro-LED显示的阈值。并且光栅有偏振选择出光性，经过此结构出射光为线偏振光。顶部集成微纳结构，相当于1/4波片，将线偏振光转换为圆偏振光。