同轴监测熔池形貌与温度的环形激光金属沉积加工头装置

    公开(公告)号:CN118106511A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410273573.5

    申请日:2024-03-11

    Abstract: 本发明属于激光加工头技术领域,提供了同轴监测熔池形貌与温度的环形激光金属沉积加工头装置,包括准直‑形环单元,准直镜将入射的激光进行准直,由圆锥镜镜组形成中空环形平行激光;分束单元将中空环形平行激光进行分束,形成两个中间相分离的半环形激光束;反射折向单元将两个中间相分离的半环形激光束进行转向;合束单元将转向后的半环形激光束合并成中间闭合的环形激光;聚焦单元对中间闭合的环形激光进行聚焦,形成向光轴汇聚的环形聚焦光斑;送粉/送丝管路组件单元与反射折向单元、合束单元及聚焦单元同轴布置;成像单元与激光主光路一同布置,接收熔池表面反射的红外光或/和可见光,以同轴监测熔池轮廓形貌及温度。

    晶圆级多级真空度环境的封装方法、装置及介质

    公开(公告)号:CN116425107A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202310299232.0

    申请日:2023-03-24

    Abstract: 本发明提供一种晶圆级多级真空度环境的封装方法、装置及介质,涉及微系统及微纳器件技术领域,方法包括:通过设置M种密封圈,在预先设置的晶圆上形成N个待封装器件对应的M种待封装微腔结构,M种密封圈发生键合的第一温度与M种待封装微腔结构中待封装器件对应的封装优先级的顺序呈负相关,M种密封圈中包括至少一个第一密封圈,第一密封圈包括至少一个通气道;按照M种待封装微腔结构中待封装器件对应的封装优先级从高到低的顺序,对M种待封装微腔结构依次执行封装操作,形成包括M种密封结构的多级真空度环境微腔,包括M种密封结构的多级真空度环境微腔的真空度环境,为预先设置的M种待封装微腔结构中待封装器件对应的需求真空度环境。

    气体浓度检测方法、装置及系统
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114518340A

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202210108912.5

    申请日:2022-01-28

    Abstract: 本发明提供一种气体浓度检测方法、装置及系统,其中,气体浓度检测方法应用于气体浓度检测系统,气体浓度检测系统包括激光光源发射模块,其中,激光光源发射模块用于发射多种具有不同波长的激光,所述方法包括:确定多种待检测气体,以及确定待检测气体相对于激光的吸收系数,其中,待检测气体与激光相对应;基于吸收系数,确定关于多种待检测气体的吸收系数矩阵;基于气体浓度检测系统,确定关于激光的电信号,并基于电信号确定电信号列向量;对吸收系数矩阵求逆,得到吸收系数矩阵的逆矩阵,并基于逆矩阵与电信号列向量,确定多种待检测气体中各待检测气体的浓度。通过本发明的气体浓度检测方法,能够并行对多种不同气体进行快速浓度检测。

    一种可调长焦深超高速环形激光熔覆加工装置

    公开(公告)号:CN114231976A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111613497.0

    申请日:2021-12-27

    Abstract: 本发明涉及一种可调长焦深超高速环形激光熔覆加工装置,包括设置在激光发射端与激光束同轴布置的准直镜组、反射镜组或第二轴锥透镜组以及转折平面反射镜组,转折平面反射镜组的出射端依次设有同轴布置的第一轴锥透镜组和聚焦透镜组,用于将环形光束转换为长焦深聚焦光束;第一轴锥透镜组固定在焦深调节装置的筒体顶端,聚焦透镜组固定在焦深调节装置的调节件顶端,调节件套接在筒体内部,通过与筒体活动连接且同轴布置的调节件,带动聚焦透镜组沿筒体轴线靠近或远离第一轴锥透镜组,实现第一轴锥透镜组与聚焦透镜组间距的调节,从而改变聚焦光束的焦深。

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