微纳件的转移方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113830727B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202111054781.9

    申请日:2021-09-09

    Abstract: 本发明涉及微系统异质集成技术领域,尤其涉及一种微纳件的转移方法,包括对微型件的拾取以及对微型件的放置两个步骤,对微型件的拾取步骤为通过金属球沾取粘附介质,将微型件从其生长基底精准拾取;所述微型件的放置步骤将拾取的微型件精准转移至含粘性表面的目标基底位置;所述金属球的制备以及微型件的拾取和放置步骤均通过标准引线键合仪完成,从而实现了微型件的规模化高效转移,有效克服了传统转移印刷等微型件转移方法因采用非标准化设备而难以规模化应用的不足。

    微纳特征的压印方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113835295A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202111054765.X

    申请日:2021-09-09

    Abstract: 本发明涉及微加工技术领域,尤其涉及一种微纳特征的压印方法,包括模具制备步骤以及压印与脱模步骤,通过操控引线键合仪的电子打火促使金属丝末端形成金属球,并利用键合力和键合温度促使原始模具表面的微纳特征压印在金属球的压印平面,以构成金属球模具,最后通过金属球模具把微纳特征压印至目标基底表面的掩膜层,所述模具制备步骤以及压印与脱模步骤通过标准引线键合仪完成,从而实现了不同微纳尺度特征从原始模具向目标基底的灵活、高效转移;相比于光刻和纳米压印等现有方法,本发明提供的方法具有所需原始模具数量少,且可灵活选取和组合不同的微纳尺度特征的优点。

    微纳件的转移方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113830727A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202111054781.9

    申请日:2021-09-09

    Abstract: 本发明涉及微系统异质集成技术领域,尤其涉及一种微纳件的转移方法,包括对微型件的拾取以及对微型件的放置两个步骤,对微型件的拾取步骤为通过金属球沾取粘附介质,将微型件从其生长基底精准拾取;所述微型件的放置步骤将拾取的微型件精准转移至含粘性表面的目标基底位置;所述金属球的制备以及微型件的拾取和放置步骤均通过标准引线键合仪完成,从而实现了微型件的规模化高效转移,有效克服了传统转移印刷等微型件转移方法因采用非标准化设备而难以规模化应用的不足。

    一种X射线管及其制备方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113257650A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110425488.2

    申请日:2021-04-20

    Abstract: 本发明提供的一种X射线管及其制备方法,所述X射线管包括阳极体、阴极体、绝缘密封管;所述阴极体,为吸附了碳纳米管的第一金属球与所述绝缘密封管的阴极端面键合形成的结构体;所述阳极体,为第二金属球与所述绝缘密封管的阳极端面键合形成的结构体;通过标准化的引线键合过程,实现阴极和阳极中金属球的制备、装配以及X射线管的密封,在提高了X射线管中阴极、阳极的装配效率的同时,实现了X射线管的规模化生产;减少了X射线管的体积,降低了生产成本,且进一步扩大了X射线管的应用领域。

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