公开(公告)号：CN115577576B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202211572812.4

申请日：2022-12-08

Applicant: 中国电子工程设计院有限公司

Inventor： 程星华 ,  白帆 ,  徐策 ,  程孟璇 ,  黄志磊 ,  张丹扬

IPC: G06F30/20 ,  G06Q10/0631

Abstract: 本发明公开了一种半导体工厂的动态虚拟组线仿真系统及方法，系统包括：静态模型，用于接收设计的半导体工厂规划的基本生产数据，根据基本生产数据计算关于半导体工厂相应工序的生产设备数据，获得初步规划方案，生产设备数据包括生产设备组及生产设备组内生产设备的数量；模型建立模块，用于基于相应工序的运行规则，建立过程动态仿真模型；过程动态仿真模型用于接收产品生产计划数据和生产设备数据，根据产品计划数据和所述生产设备数据，执行产品生产流程并输出运行数据；评估模块，用于根据运行数据对初步规划方案进行评估；该系统采用静态模型和过程动态仿真模型结合的仿真模式，对生产设备数据进行计算并对方案进行评估，系统仿真精度高。

公开(公告)号：CN116579273B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310386308.3

申请日：2023-04-12

Applicant: 中国电子工程设计院有限公司

Inventor： 杨光明 ,  程星华 ,  曹东 ,  解敏 ,  张丹扬 ,  黄志磊

IPC: G06F30/30 ,  G06Q10/0633

Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用电动态仿真方法及系统，方法包括：确定工艺设备的型号以及工艺制程；对工艺设备进行用电单元拆解；根据用电特性对所述用电单元进行分组；根据用电单元的分组，建立用电功率数据集；根据工艺设备及工艺制程的生产节拍和加工流程，建立用电动态仿真模型，并将所述用电功率数据集输入至所述用电动态仿真模型中；运行所述用电动态仿真模型并进行实时状态捕捉，动态输出半导体设备实时状态的用电功率。该方法能够实现工艺设备用电功率动态仿真模拟，可呈现一定周期设备用电曲线，方便数据分析。

公开(公告)号：CN116579273A

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202310386308.3

申请日：2023-04-12

Applicant: 中国电子工程设计院有限公司

Inventor： 杨光明 ,  程星华 ,  曹东 ,  解敏 ,  张丹扬 ,  黄志磊

IPC: G06F30/30 ,  G06Q10/0633

Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用电动态仿真方法及系统，方法包括：确定工艺设备的型号以及工艺制程；对工艺设备进行用电单元拆解；根据用电特性对所述用电单元进行分组；根据用电单元的分组，建立用电功率数据集；根据工艺设备及工艺制程的生产节拍和加工流程，建立用电动态仿真模型，并将所述用电功率数据集输入至所述用电动态仿真模型中；运行所述用电动态仿真模型并进行实时状态捕捉，动态输出半导体设备实时状态的用电功率。该方法能够实现工艺设备用电功率动态仿真模拟，可呈现一定周期设备用电曲线，方便数据分析。

公开(公告)号：CN115577576A

公开(公告)日：2023-01-06

申请号：CN202211572812.4

申请日：2022-12-08

Applicant: 中国电子工程设计院有限公司

Inventor： 程星华 ,  白帆 ,  徐策 ,  程孟璇 ,  黄志磊 ,  张丹扬

IPC: G06F30/20 ,  G06Q10/06

Abstract: 本发明公开了一种半导体工厂的动态虚拟组线仿真系统及方法，系统包括：静态模型，用于接收设计的半导体工厂规划的基本生产数据，根据基本生产数据计算关于半导体工厂相应工序的生产设备数据，获得初步规划方案，生产设备数据包括生产设备组及生产设备组内生产设备的数量；模型建立模块，用于基于相应工序的运行规则，建立过程动态仿真模型；过程动态仿真模型用于接收产品生产计划数据和生产设备数据，根据产品计划数据和所述生产设备数据，执行产品生产流程并输出运行数据；评估模块，用于根据运行数据对初步规划方案进行评估；该系统采用静态模型和过程动态仿真模型结合的仿真模式，对生产设备数据进行计算并对方案进行评估，系统仿真精度高。