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公开(公告)号：CN116380981A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310669123.3
申请日：2023-06-07
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提供一种气相定量测定亚ppb级污染物的方法，应用于纯水污染物在线检测技术领域。先将待测试样和第一气体通入气体转移装置，测定液相出口处的第一试样的氢气和氧气浓度，然后从第一试样中移除自由基复合氧化剂、氧气以及氢气形成第二试样，测定第二试样中氢气和氧气浓度，最后赋予氢气浓度在第一试样和第二试样的变化量与溶解氧浓度在第一试样和第二试样变化量的耦合系数，计算得到自由基复合氧化剂的测定浓度。该方法具有多种检测模式，不仅可以在线检测亚ppb级污染物，还可以获得更大的检测区间，对于较高背景溶氧浓度的待测试样，也可获得低于0.2μg/l的检出限，同时采取主动防护手段，保护反应材料的高效活性，延长其使用寿命。
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公开(公告)号：CN115826548B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310152028.6
申请日：2023-02-22
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明公开了一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置，方法包括如下步骤：采集目标半导体生产工艺，以及半导体生产系统中的设备布局信息；确定生产目标半导体的目标机台组、目标机台和生产物流路径；获取第一生产节拍和第二生产节拍，结合目标半导体的生产物流路径，给出目标机台及目标机台组所产生的废气数据；获取目标机台组的废气处理信息和第三生产节拍，结合时间控制指令，给出针对半导体生产系统废气处理的动态模拟。将生产设备和腔体进程、生产节拍等参数囊括，实现了半导体生产系统废气处理动态模拟，为设备选型、管路设计、动能用量提供更精准的参考。
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公开(公告)号：CN114291959B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210225886.4
申请日：2022-03-09
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: C02F9/10 , C02F103/04
Abstract: 本发明公开一种有效去除总有机碳和弱离子化杂质的超纯水制备方法，包括：对原水进行预处理，得到过滤水，预处理包括至少一次过滤处理；对过滤水进行浅除盐操作，得到一次纯水，浅除盐操作包括对过滤水进行至少一次反渗透处理；对一次纯水进行深除盐操作，得到二次纯水，深除盐操作包括使一次纯水依次经过连续电除盐系统（31）、光催化真空紫外氧化器（32）、弱酸盐脱除塔（33）和氮气真空混合式膜脱气装置（34）进行处理；对二次纯水进行抛光处理，得到超纯水。上述方案能更有效地减少水中总有机碳和弱离子化杂质，从而使所制备的超纯水稳定满足新版国际标准ASTM D5127‑13（2018）《电子和半导体工业用超纯水的标准指南》中E‑1.1及以上要求。
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公开(公告)号：CN116976541B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202311226918.3
申请日：2023-09-22
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G06Q10/047 , G06Q10/083 , G06Q50/04
Abstract: 本发明公开了一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置，方法具体包括如下步骤：基于平板显示的生产工艺，获取储料单元清单及搬运轨道组件清单；根据储料单元的进货口类型及搬运轨道组件类型，给出由各个储料单元形成的物料搬运可行路径清单，并构建加权有向图；结合加权有向图，并融合获取的路径权重、路径长度及物料运输设备参数，对物料搬运可行路径清单进行寻优分析；根据寻优分析结果，确定平板显示生产线的物料搬运路径。针对平板显示生产线自动化物料搬运中各个储料单元之间路径过多，难以计算出合适路径的问题，给出了构建加权有向图，结合适应平板显示生产线的寻优策略，筛选确定最佳路径的寻优方案。
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公开(公告)号：CN116702301A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310974734.9
申请日：2023-08-04
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司 , 世源科技工程有限公司
Abstract: 本发明公开了一种集成电路产线多级仿真布局的生成方法及装置，方法包括如下步骤：获取集成电路产线布局的需求设备，形成待布局设备清单；按照工艺区域、生产单元和设备的模块层级，对待布局设备清单中的待布局设备进行标签化处理，获得包含模块层级信息的集成电路产线布局数据清单；基于集成电路产线布局数据清单，结合多级布局策略，完成集成电路产线多级仿真布局。本发明结合智能多模块层级的方法，针对超大规模的集成电路生产线，实现快速、精准的产线布局。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116380981B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310669123.3
申请日：2023-06-07
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提供一种气相定量测定亚ppb级污染物的方法，应用于纯水污染物在线检测技术领域。先将待测试样和第一气体通入气体转移装置，测定液相出口处的第一试样的氢气和氧气浓度，然后从第一试样中移除自由基复合氧化剂、氧气以及氢气形成第二试样，测定第二试样中氢气和氧气浓度，最后赋予氢气浓度在第一试样和第二试样的变化量与溶解氧浓度在第一试样和第二试样变化量的耦合系数，计算得到自由基复合氧化剂的测定浓度。该方法具有多种检测模式，不仅可以在线检测亚ppb级污染物，还可以获得更大的检测区间，对于较高背景溶氧浓度的待测试样，也可获得低于0.2μg/l的检出限，同时采取主动防护手段，保护反应材料的高效活性，延长其使用寿命。
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公开(公告)号：CN115893769B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202310028299.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: C02F9/00 , C02F1/20 , C02F1/42 , C02F1/44 , C02F1/70 , C02F103/04 , C02F101/30 , C02F101/10
Abstract: 本发明公开了一种精处理回路提纯水的系统，该系统包括第一膜接触器、光解反应器、弱酸吸附塔、双层抛光塔和第二膜接触器。其中，第一膜接触器内置溶氢膜，用于制备富含氢气的超纯水。双层抛光塔为层叠结构，包括收容部、供给部和排出部，通过氢化反应，消除金属纳米粒子表面氧化层。该金属纳米粒子用于淬灭自由基复合氧化剂并脱除氧气，特别优选来自Ⅷ族或ⅠB族的二元金属复合纳米粒子，能够高效提升催化反应效率，显著提高单金属催化活性和选择性，同时表现出良好的循环性。
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公开(公告)号：CN110439331A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910736089.0
申请日：2019-08-09
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本发明涉及洁净生产技术领域，公开了一种洁净厂房，包括厂房本体，厂房本体内设有核心洁净室，并设有核心洁净室上夹层、核心洁净室下夹层以及连通核心洁净室上夹层以及核心洁净室下夹层的核心洁净室回风夹道；其中，核心洁净室回风夹道背离核心洁净室的一侧设有边跨支持区，边跨支持区内设有边跨洁净室，并设有位于边跨洁净室顶部的边跨洁净室上夹层以及位于边跨洁净室底部的边跨洁净室下夹层；边跨洁净室上夹层以及边跨洁净室下夹层分别与核心洁净室回风夹道连通，和/或，边跨洁净室远离核心洁净室的一侧与厂房本体的墙体之间设有用于连通边跨洁净室上夹层以及边跨洁净室下夹层的边跨洁净室回风夹道。
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公开(公告)号：CN116976541A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311226918.3
申请日：2023-09-22
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G06Q10/047 , G06Q10/083 , G06Q50/04
Abstract: 本发明公开了一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置，方法具体包括如下步骤：基于平板显示的生产工艺，获取储料单元清单及搬运轨道组件清单；根据储料单元的进货口类型及搬运轨道组件类型，给出由各个储料单元形成的物料搬运可行路径清单，并构建加权有向图；结合加权有向图，并融合获取的路径权重、路径长度及物料运输设备参数，对物料搬运可行路径清单进行寻优分析；根据寻优分析结果，确定平板显示生产线的物料搬运路径。针对平板显示生产线自动化物料搬运中各个储料单元之间路径过多，难以计算出合适路径的问题，给出了构建加权有向图，结合适应平板显示生产线的寻优策略，筛选确定最佳路径的寻优方案。
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公开(公告)号：CN116579273A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310386308.3
申请日：2023-04-12
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G06F30/30 , G06Q10/0633
Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用电动态仿真方法及系统，方法包括：确定工艺设备的型号以及工艺制程；对工艺设备进行用电单元拆解；根据用电特性对所述用电单元进行分组；根据用电单元的分组，建立用电功率数据集；根据工艺设备及工艺制程的生产节拍和加工流程，建立用电动态仿真模型，并将所述用电功率数据集输入至所述用电动态仿真模型中；运行所述用电动态仿真模型并进行实时状态捕捉，动态输出半导体设备实时状态的用电功率。该方法能够实现工艺设备用电功率动态仿真模拟，可呈现一定周期设备用电曲线，方便数据分析。
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