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公开(公告)号:CN116976541B
公开(公告)日:2024-05-17
申请号:CN202311226918.3
申请日:2023-09-22
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G06Q10/047 , G06Q10/083 , G06Q50/04
Abstract: 本发明公开了一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置,方法具体包括如下步骤:基于平板显示的生产工艺,获取储料单元清单及搬运轨道组件清单;根据储料单元的进货口类型及搬运轨道组件类型,给出由各个储料单元形成的物料搬运可行路径清单,并构建加权有向图;结合加权有向图,并融合获取的路径权重、路径长度及物料运输设备参数,对物料搬运可行路径清单进行寻优分析;根据寻优分析结果,确定平板显示生产线的物料搬运路径。针对平板显示生产线自动化物料搬运中各个储料单元之间路径过多,难以计算出合适路径的问题,给出了构建加权有向图,结合适应平板显示生产线的寻优策略,筛选确定最佳路径的寻优方案。
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公开(公告)号:CN116579273B
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202310386308.3
申请日:2023-04-12
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G06F30/30 , G06Q10/0633
Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用电动态仿真方法及系统,方法包括:确定工艺设备的型号以及工艺制程;对工艺设备进行用电单元拆解;根据用电特性对所述用电单元进行分组;根据用电单元的分组,建立用电功率数据集;根据工艺设备及工艺制程的生产节拍和加工流程,建立用电动态仿真模型,并将所述用电功率数据集输入至所述用电动态仿真模型中;运行所述用电动态仿真模型并进行实时状态捕捉,动态输出半导体设备实时状态的用电功率。该方法能够实现工艺设备用电功率动态仿真模拟,可呈现一定周期设备用电曲线,方便数据分析。
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公开(公告)号:CN115826548A
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN202310152028.6
申请日:2023-02-22
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明公开了一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置,方法包括如下步骤:采集目标半导体生产工艺,以及半导体生产系统中的设备布局信息;确定生产目标半导体的目标机台组、目标机台和生产物流路径;获取第一生产节拍和第二生产节拍,结合目标半导体的生产物流路径,给出目标机台及目标机台组所产生的废气数据;获取目标机台组的废气处理信息和第三生产节拍,结合时间控制指令,给出针对半导体生产系统废气处理的动态模拟。将生产设备和腔体进程、生产节拍等参数囊括,实现了半导体生产系统废气处理动态模拟,为设备选型、管路设计、动能用量提供更精准的参考。
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公开(公告)号:CN116976541A
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202311226918.3
申请日:2023-09-22
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G06Q10/047 , G06Q10/083 , G06Q50/04
Abstract: 本发明公开了一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置,方法具体包括如下步骤:基于平板显示的生产工艺,获取储料单元清单及搬运轨道组件清单;根据储料单元的进货口类型及搬运轨道组件类型,给出由各个储料单元形成的物料搬运可行路径清单,并构建加权有向图;结合加权有向图,并融合获取的路径权重、路径长度及物料运输设备参数,对物料搬运可行路径清单进行寻优分析;根据寻优分析结果,确定平板显示生产线的物料搬运路径。针对平板显示生产线自动化物料搬运中各个储料单元之间路径过多,难以计算出合适路径的问题,给出了构建加权有向图,结合适应平板显示生产线的寻优策略,筛选确定最佳路径的寻优方案。
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公开(公告)号:CN116579273A
公开(公告)日:2023-08-11
申请号:CN202310386308.3
申请日:2023-04-12
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G06F30/30 , G06Q10/0633
Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用电动态仿真方法及系统,方法包括:确定工艺设备的型号以及工艺制程;对工艺设备进行用电单元拆解;根据用电特性对所述用电单元进行分组;根据用电单元的分组,建立用电功率数据集;根据工艺设备及工艺制程的生产节拍和加工流程,建立用电动态仿真模型,并将所述用电功率数据集输入至所述用电动态仿真模型中;运行所述用电动态仿真模型并进行实时状态捕捉,动态输出半导体设备实时状态的用电功率。该方法能够实现工艺设备用电功率动态仿真模拟,可呈现一定周期设备用电曲线,方便数据分析。
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公开(公告)号:CN115826548B
公开(公告)日:2023-06-13
申请号:CN202310152028.6
申请日:2023-02-22
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明公开了一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置,方法包括如下步骤:采集目标半导体生产工艺,以及半导体生产系统中的设备布局信息;确定生产目标半导体的目标机台组、目标机台和生产物流路径;获取第一生产节拍和第二生产节拍,结合目标半导体的生产物流路径,给出目标机台及目标机台组所产生的废气数据;获取目标机台组的废气处理信息和第三生产节拍,结合时间控制指令,给出针对半导体生产系统废气处理的动态模拟。将生产设备和腔体进程、生产节拍等参数囊括,实现了半导体生产系统废气处理动态模拟,为设备选型、管路设计、动能用量提供更精准的参考。
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