公开(公告)号：CN118927146A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202411024144.0

申请日：2024-07-29

Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所

Inventor： 马孟宇 ,  蔚翠 ,  何泽召 ,  刘庆彬 ,  周闯杰 ,  刘煜东 ,  冯志红

IPC: B24B41/06 ,  B24B29/02 ,  B24B1/00

Abstract: 本发明提供了一种金刚石抛光夹具及抛光方法，属于金刚石处理技术领域，包括主体底座以及可移动式夹具托，主体底座的上表面设置有胶槽，主体底座的下表面设置有轴杆，轴杆用于与抛光机头连接；可移动式夹具托设置于主体底座的四周，以夹紧胶粘于主体底座上表面的金刚石片，并可通过移动以夹持不同尺寸的金刚石片。本发明提供的金刚石抛光夹具及抛光方法，利用高温胶粘以及夹具托夹紧的方式，将金刚石片固定在主体底座上，提升金刚石片夹紧的稳定性，有效降低了抛光裂片风险；同时通过该抛光夹具的使用，能够优化金刚石片表面粗糙度和整体厚度均匀情况，有效抑制了抛光过程引入的应力损伤，从而获得高质量的单晶金刚石加工产品。