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公开(公告)号:CN111430396A
公开(公告)日:2020-07-17
申请号:CN202010167335.8
申请日:2020-03-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L27/148 , B82Y10/00
Abstract: 本申请涉及一种基于超导纳米线的单光子偏振探测器件及其实现装置,包括:衬底;像元层,像元层置于衬底上;其中,像元层包括一个或多个超像元单元;每个超像元单元包括至少四个像元单元,像元单元由一条蜿蜒曲折的超导纳米线构成;且每个像元单元的超导纳米线结构的平行方向的角度各不同;利用四个超像元对偏振光的偏振角的光响应计数可以实现对线性偏振光的偏振态求解。与现有的半导体偏振探测器相比,本申请中的超导纳米线结构具有线偏振器和光子探测器的双重功能,不仅集合了超导纳米线结构单光子探测器自身的优点,还具有器件规模可拓展、结构简单等特点,有望应用于微弱光环境下的偏振探测及成像、量子通信、天文观测等。
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公开(公告)号:CN110631717A
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201910877513.3
申请日:2019-09-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种基于辅助曝光结构的超导纳米线单光子探测器光对准方法,包括:超导纳米线单光子探测器;若干个辅助曝光纳米线结构,位于超导纳米线单光子探测器外围,且贴置于超导纳米线单光子探测器的光敏面外边缘;辅助曝光纳米线结构用于入射光与超导纳米线单光子探测器的光敏面的光对准。传统的纳米线辅助曝光结构有助于加工得到线宽较均匀的纳米线,但其不构成单光子探测器件。本发明把中心区域周围的辅助曝光结构加以利用,设计成多个单光子探测器,可以通过外围探测器的光计数反馈定位光斑的位置,从而进行光斑与中心区域的对准。
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公开(公告)号:CN111430396B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202010167335.8
申请日:2020-03-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L27/148 , B82Y10/00
Abstract: 本申请涉及一种基于超导纳米线的单光子偏振探测器件及其实现装置,包括:衬底;像元层,像元层置于衬底上;其中,像元层包括一个或多个超像元单元;每个超像元单元包括至少四个像元单元,像元单元由一条蜿蜒曲折的超导纳米线构成;且每个像元单元的超导纳米线结构的平行方向的角度各不同;利用四个超像元对偏振光的偏振角的光响应计数可以实现对线性偏振光的偏振态求解。与现有的半导体偏振探测器相比,本申请中的超导纳米线结构具有线偏振器和光子探测器的双重功能,不仅集合了超导纳米线结构单光子探测器自身的优点,还具有器件规模可拓展、结构简单等特点,有望应用于微弱光环境下的偏振探测及成像、量子通信、天文观测等。
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公开(公告)号:CN110631717B
公开(公告)日:2021-05-11
申请号:CN201910877513.3
申请日:2019-09-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种基于辅助曝光结构的超导纳米线单光子探测器光对准方法,包括:超导纳米线单光子探测器;若干个辅助曝光纳米线结构,位于超导纳米线单光子探测器外围,且贴置于超导纳米线单光子探测器的光敏面外边缘;辅助曝光纳米线结构用于入射光与超导纳米线单光子探测器的光敏面的光对准。传统的纳米线辅助曝光结构有助于加工得到线宽较均匀的纳米线,但其不构成单光子探测器件。本发明把中心区域周围的辅助曝光结构加以利用,设计成多个单光子探测器,可以通过外围探测器的光计数反馈定位光斑的位置,从而进行光斑与中心区域的对准。
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