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公开(公告)号：CN119842110A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202411977477.5
申请日：2024-12-30
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于氧等离子体刻蚀调控柔性衬底表面织构的方法。所述方法包括：提供柔性衬底；采用氧等离子体刻蚀技术对设置有金属掩膜版的柔性衬底进行刻蚀处理，所述金属掩膜版设置于柔性衬底表面的正上方，从而实现对柔性衬底表面织构的调控，制得具有微纳结构的柔性衬底。本发明通过表面织构的精准控制，可实现柔性衬底表面从疏水状态(＞120°)逐渐转为超亲水状态(＜5°)，制得的具有微纳结构的柔性衬底可实现应变超过150％的拉伸性能；同时本发明具有获得规则可控表面纳米织构的同时不影响柔性衬底本征性能的优点，且可调控柔性衬底表面润湿状态，制备方法简单，有望应用于柔性可穿戴电子器件领域。
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公开(公告)号：CN119615105A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411581222.7
申请日：2024-11-07
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供一种用于陶瓷密封材料表面的复合涂层及其制备方法，其中复合涂层包括位于陶瓷密封材料基体上的金刚石过渡层和位于金刚石过渡层上的类金刚石涂层，且金刚石过渡层的厚度为3‑20μm、表面硬度为50‑100GPa、晶粒尺寸为10nm～5μm，类金刚石涂层包括金刚石相和石墨相，且类金刚石涂层的厚度为0.2～10μm，表面硬度为20～30GPa，相比陶瓷密封材料基体本身以及金刚石涂层机械密封件，摩擦系数和磨损率显著降低。与现有技术相比，本发明通过两步法沉积的复合涂层机械密封件，不需要常规金刚石涂层机械密封件表面抛光工艺，缩短机械密封件摩擦跑合阶段，显著提高陶瓷密封材料摩擦磨损性能。
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公开(公告)号：CN116219381B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202211603528.9
申请日：2022-12-13
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种MAX相涂层的低温制备方法及其应用。所述低温制备方法包括：提供基体；以及，采用直流磁控溅射复合双靶高功率脉冲磁控溅射技术，在所述基体表面沉积形成MAX相涂层；其中，所述直流磁控溅射技术中采用的靶材为Al靶，所述双靶高功率脉冲磁控溅射技术中采用的双靶靶材分别为金属靶和C靶，所述金属靶选自Ti靶、Cr靶或V靶，且金属靶、C靶、Al靶中任意两靶之间的磁场为磁铁极性相反的闭合磁场或磁铁极性相同的镜面磁场；沉积温度为350～500℃。本发明的提供的MAX相涂层工艺的沉积温度低，同时制备的MAX相涂层具有纯度高、表面平滑、成分均匀、结构致密等优点。
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公开(公告)号：CN115505157B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202211312397.9
申请日：2022-10-25
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种有机无机复合耐磨减摩涂层在聚醚醚酮表面防护中的用途。所述有机无机复合耐磨减摩涂层为沉积于聚醚醚酮表面的硅氧共掺杂非晶碳有机无机复合涂层，所述有机无机复合耐磨减摩涂层中硅的原子百分比含量为3.0‑8.0at.％，氧的原子百分比含量为2.0‑6.5at.％。本发明通过硅氧共掺杂对非晶碳涂层进行改性，不仅提升了涂层与PEEK基体间的结合力，还使PEEK表面力学性能显著提升、摩擦寿命延长、润滑性增强；此外，由于非晶碳涂层中引入硅与氧元素，涂层韧性提升，减少了裂纹产生，使其在抗腐蚀应用方面也具有极大的潜力。
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公开(公告)号：CN115961259B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202211586856.2
申请日：2022-12-09
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种强韧耐蚀MAX相多层复合涂层及其制备方法与应用。所述制备方法包括：采用高功率脉冲磁控溅射技术，以TiAl靶作为靶材，在金属基体表面沉积形成TiAl过渡层；采用高功率脉冲磁控溅射技术和直流磁控溅射技术，在所述TiAl过渡层的表面交替沉积TiAl层和C层，从而形成Ti‑Al‑C中间层；采用高功率脉冲磁控溅射技术和直流磁控溅射技术，在所述Ti‑Al‑C中间层的表面沉积形成Ti‑Al‑C顶层；对沉积有涂层的金属基体进行真空退火处理，制得强韧耐蚀MAX相多层复合涂层。本发明制备的强韧耐蚀MAX相多层复合涂层具有较高的硬度、韧性和更强的耐腐蚀性，能够在海洋环境中工作的装备部件提供防护性能。
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公开(公告)号：CN117660905A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311391104.5
申请日：2023-10-25
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种高耐蚀复合涂层，包括呈周期性交替设置的Me层与Me(O)层，且高耐蚀复合涂层的底层与顶层均为Me层，Me(O)层中固溶有氧，且氧的固溶量为1～25at.％，Me层和Me(O)层中，Me选自Cr、Zr、Ti中的一种，与现有技术相比，本发明通过周期性引入氧气离子刻蚀，钝化界面，形成Me/Me(O)多层结构，在不引入异质元素和异质界面的前提下，打断柱状晶的连续生长，阻断腐蚀离子快速扩散通道，增加了涂层致密度，使涂层呈现高耐蚀特性。
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公开(公告)号：CN117448758A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311207675.9
申请日：2023-09-19
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供一种非晶碳涂层的磁控溅射方法，属于材料表面处理技术领域。通过采用高功率脉冲磁控溅射复合同步脉冲偏压技术，不仅综合了传统磁控溅射大面积沉积、无大颗粒缺陷和过滤阴极真空电弧沉积技术离化率高的优点，还利用同步脉冲偏压的选择性赋能机制，实现对溅射碳离子束流选择性赋能加速，在减少Ar+持续轰击的同时，相对增加C+轰击，达到降低涂层内应力及轰击损伤，减少靶表面碳离子回吸以及靶表面打弧的目的。使得制备的涂层表面无大颗粒聚积现象，涂层表面平滑、成分均匀、结构致密。
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公开(公告)号：CN116219381A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211603528.9
申请日：2022-12-13
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种MAX相涂层的低温制备方法及其应用。所述低温制备方法包括：提供基体；以及，采用直流磁控溅射复合双靶高功率脉冲磁控溅射技术，在所述基体表面沉积形成MAX相涂层；其中，所述直流磁控溅射技术中采用的靶材为Al靶，所述双靶高功率脉冲磁控溅射技术中采用的双靶靶材分别为金属靶和C靶，所述金属靶选自Ti靶、Cr靶或V靶，且金属靶、C靶、Al靶中任意两靶之间的磁场为磁铁极性相反的闭合磁场或磁铁极性相同的镜面磁场；沉积温度为350～500℃。本发明的提供的MAX相涂层工艺的沉积温度低，同时制备的MAX相涂层具有纯度高、表面平滑、成分均匀、结构致密等优点。
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公开(公告)号：CN115928017A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211424039.7
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种高导电耐蚀防护复合涂层及其制备方法与应用。所述高导电耐蚀防护复合涂层包括依次形成于作为基体的金属双极板表面的铬过渡层和类石墨非晶碳层；其中，所述铬过渡层的择优晶面取向为(110)，且所述铬过渡层中择优取向晶面(110)的织构系数在0.8以上。本发明提供的高导电耐蚀防护复合涂层中的类石墨非晶碳涂层具有高导电耐蚀性能，在低负偏压下利用高功率脉冲磁控溅射技术制备出密排面(110)择优生长的铬过渡层，有效地提高了涂层的致密性，从而实现对金属双极板的长效防护，同时，该(110)择优取向铬过渡层对类石墨非晶碳层具有明显催化作用，有助于提高sp2含量，从而有效地降低金属双极板接触电阻。
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公开(公告)号：CN115505157A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211312397.9
申请日：2022-10-25
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种有机无机复合耐磨减摩涂层在聚醚醚酮表面防护中的用途。所述有机无机复合耐磨减摩涂层为沉积于聚醚醚酮表面的硅氧共掺杂非晶碳有机无机复合涂层，所述有机无机复合耐磨减摩涂层中硅的原子百分比含量为3.0‑8.0at.％，氧的原子百分比含量为2.0‑6.5at.％。本发明通过硅氧共掺杂对非晶碳涂层进行改性，不仅提升了涂层与PEEK基体间的结合力，还使PEEK表面力学性能显著提升、摩擦寿命延长、润滑性增强；此外，由于非晶碳涂层中引入硅与氧元素，涂层韧性提升，减少了裂纹产生，使其在抗腐蚀应用方面也具有极大的潜力。
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