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公开(公告)号：CN104810470A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410036354.1
申请日：2014-01-26
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明提供一种声表面波器件，包括压电基底、声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面接收器相对设置在压电基底上，所述声表面波发生器用于产生声表面波，所述声表面波接收器用于接收声表面波发生器产生的声表面波，所述声表面波发生器及声表面波接收器的材料为石墨烯。本发明的优点在于：在不改变现有的声表面波器件工作模式的前提下，能够适应高频、大功率声表面波器件，具有更强的功率承受力和机械承受力；能够减少对声波阻抗的影响，获得更高的灵敏度，可适应高频滤波的需求；增强声表面波器件的散热性能，延长声表面波器件的使用寿命，提高器件的工作稳定性；声表面波器件更容易进行刻蚀和加工。
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公开(公告)号：CN104716924A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310668842.X
申请日：2013-12-11
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明提供一种石墨烯谐振器及其制作方法，所述石墨烯谐振器包括衬底、声表面波发生器及石墨烯，所述声表面波发生器设置在衬底表面，用于产生声表面波，所述衬底在所述声表面波传播方向上设置有一凹槽，所述石墨烯设置在所述凹槽上方形成悬空的石墨烯，悬空的石墨烯能够在声表面波的作用下机械振动。本发明的优点在于：采用声表面波作为激振源，石墨烯作为机械振动结构，使得本发明石墨烯谐振器具有更小的自身质量和更高的谐振频率及品质因子，且易于实现集成化，可用于极小压力传感和极小质量探测的微机电系统。
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公开(公告)号：CN104713670A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310668841.5
申请日：2013-12-11
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01L1/25
Abstract: 本发明提供一种探针型压力传感器及其制作方法，所述探针型压力传感器包括声表面波延迟线及探针，所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置，所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间，在探针受到力的作用的情况下，声表面波延迟线的相位或频率发生变化。本发明探针型压力传感器的优点在于，其能够实现具有微纳米空间分辨率的力的传感，且获得更高的灵敏度和精确度。
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