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公开(公告)号：CN117406554A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202310893998.1
申请日：2023-07-20
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种光刻装置，其包括：光源；控制系统，所述控制系统包括控制单元，所述控制单元用于控制所述光源出射光线；原子力显微镜，所述原子力显微镜包括探针组件，所述探针组件包括具有通孔的探针，所述通孔用于将所述光源出射的光线聚集到被光刻样品上。本发明还提供了一种光刻方法。本发明使用镂空探针(即具有通孔的探针)对柔性衬底实现很好的光能量控制和曝光时间，避免掩膜的使用，提高器件设计的自由度。
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公开(公告)号：CN111366540B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202010238050.9
申请日：2020-03-30
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种半导体材料纳米尺度各向异性吸收系数的测量装置及测量方法，测量方法包括：关闭狭缝，利用扫描开尔文探针显微镜测试无光条件下导电针尖上的接触电势差NLCPD；开启狭缝，利用扫描开尔文探针显微镜测试在当前发光波长下的导电针尖上的接触电势差LCPD；多次改变发光的波长值，分别测量对应的NLCPD和LCPD，得出无光条件下接触电势差随波长变化的关系曲线NLCPD(λ)和加光条件下接触电势差随波长变化的曲线LCPD(λ)；根据DCPD(λ)＝LCPD(λ)‑NLCPD(λ)得到差值随波长变化的曲线DCPD(λ)；计算当前偏振角度激发光的吸收系数α；改变激发光的偏振角度，计算对应偏振角度下的吸收系数，即得各向异性吸收系数。本发明使测量吸收系数的空间分辨率大大提高，实现了纳米尺度光吸收系数各向异性的测量。
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公开(公告)号：CN108802433B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201810215118.4
申请日：2018-03-15
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明提供一种基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法，原子力显微镜探针包括压电基底；信号发生器用于产生激励信号；输入输出换能器设置在压电基底上，输入输出换能器接收激励信号，并将激励信号转换为声表面波信号；反射器设置在压电基底上，并与输入输出换能器相对设置，反射器反射输入输出换能器输出的声表面波信号，输入输出换能器与反射器形成声表面波传播路径，输入输出换能器接收反射器反射的声表面波信号，并转换为电磁信号；针尖设置在压电基底上，并位于声表面波传播路径上，声表面波带动所述针尖震动；信号收集器收集所述电磁信号。优点是，在不引入激光检测针尖振动信号前提下，可实现对材料表面形貌高空间分辨测量。
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公开(公告)号：CN106033829B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201510106462.6
申请日：2015-03-11
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明提供一种等离激元窄带吸收薄膜，包括基底层及设置于所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒按一定周期排列形成。本发明的优点在于：1、相比于金属颗粒中的自由电子的等离激元共振，热损耗能够大大降低。2、能够实现强局域的电磁共振窄波长光吸收，进一步增强电磁波与介电颗粒作用强度，因此可以在不均匀的环境中实现窄波长的强局域共振响应。3、可以调节电磁能量在介质层和介电颗粒的吸收比例，从而降低金属热损耗。
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公开(公告)号：CN104808017B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201410036355.6
申请日：2014-01-26
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01Q60/22
Abstract: 本发明提供一种用于近场光学显微镜的探针，包括悬臂梁基底、设置在所述悬臂梁基底上的半导体针尖，设置在半导体针尖上的两个金属电极，所述两个金属电极相对设置，所述半导体针尖与两个金属电极形成用于将光信号转换为电信号的金属‑半导体‑金属光电探测器，其中一个金属电极用于与一外部直流偏压加载装置连接，另一金属电极用于收集光电流并将光电流传输给近场光学显微镜的控制器。本发明的优点在于，能够简化近场光学显微镜结构和操作复杂度，大大拓宽其使用范围，从而方便探针在各种环境中的传递和更换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104810470A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410036354.1
申请日：2014-01-26
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明提供一种声表面波器件，包括压电基底、声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面接收器相对设置在压电基底上，所述声表面波发生器用于产生声表面波，所述声表面波接收器用于接收声表面波发生器产生的声表面波，所述声表面波发生器及声表面波接收器的材料为石墨烯。本发明的优点在于：在不改变现有的声表面波器件工作模式的前提下，能够适应高频、大功率声表面波器件，具有更强的功率承受力和机械承受力；能够减少对声波阻抗的影响，获得更高的灵敏度，可适应高频滤波的需求；增强声表面波器件的散热性能，延长声表面波器件的使用寿命，提高器件的工作稳定性；声表面波器件更容易进行刻蚀和加工。
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公开(公告)号：CN102353815B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201110179440.4
申请日：2011-06-30
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 一种材料的表面局域电子态的测量装置，包括样品台、直流信号发生器、交流信号发生器、可调波长的单色光光源以及镀金属膜的探针；所述样品台是导电的；探针设置在样品台表面，并与样品台保持一距离以放置待测样品；所述直流信号发生器与交流信号发生器的两个输出端中的一个连接在样品台上，另一个连接在探针上；可调波长的单色光光源所发出的光束为聚焦光束，聚焦光束能够聚焦至探针的针尖处。
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公开(公告)号：CN102662210B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210061093.X
申请日：2012-03-09
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 苏州纳维科技有限公司
Abstract: 本发明涉及光波导技术领域。本发明提供一种等离子激元增益波导，包括基底层、介质层、隔离层和增益波导，所述介质层置于基底层的裸露表面，所述隔离层介于所述介质层和所述增益波导之间，所述增益波导靠近所述介质层的一端为楔形且尖端朝向所述介质层，所述增益波导的折射率大于所述隔离层的折射率。本发明优点在于，在增益波导靠近介质层一端为楔形结构，固定楔形结构的顶端和金属的距离，保留低折射率的隔离层，可以通过调节楔形顶角的角度改善增益波导和金属的等离子激元耦合。
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公开(公告)号：CN102181924B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201110078118.2
申请日：2011-03-30
Applicant: 苏州纳维科技有限公司 , 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 一种石墨烯的生长方法，包括如下步骤：提供III族氮化物衬底；将所述III族氮化物衬底置于平板加热器的中心区域；向III族氮化物衬底表面通入非氧化性气体；加热III族氮化物衬底；向III族氮化物衬底表面通入含碳物质作为碳源，进行石墨烯的生长；停止通入碳源，持续通入非氧化性气体保护并降温至室温。
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公开(公告)号：CN102520212A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110416216.2
申请日：2011-12-14
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明提供多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法，属于半导体测试领域。装置包括反应腔室、原子力显微镜、电子显微镜和样品台，样品台、原子力显微镜、电子显微镜均位于反应腔内；所述减薄待测样品的方法步骤为：将一样品置于反应腔室内；测量待测样品的第一裸露表面的第一接触电势差V1；移开原子力显微镜的导电探针；刻蚀第一裸露表面一深度X，露出第二表面；测量待测样品的第二裸露表面的第一接触电势差V2；比较V1与V2大小，判断是否继续刻蚀。本发明解决了现有技术无法进行精确解剖的问题，本发明做到精确解剖异质结器件，对半导体器件的制备和性质研究有重要意义。
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